[实用新型]镀膜装置

权利要求书

1.一种镀膜装置，用于在太阳能电池片的制造过程中在所述太阳能电池片的基体片上镀减反膜，所述镀膜装置包括：

炉体，所述炉体内设置有用于容纳所述基体片的容纳腔；

前法兰壁和后法兰壁，所述前法兰壁和所述后法兰壁分别设置在所述炉体的前端和后端；以及

供气装置，

其特征在于，所述镀膜装置上设置有连通外界和所述容纳腔的至少两组进气孔，所述供气装置能够同时通过各组所述进气孔向所述容纳腔内供气，其中第一组所述进气孔设置在所述后法兰壁上，其他所述进气孔设置在所述炉体上或所述前法兰壁上。

2.根据权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述炉体为圆柱形结构，所述圆柱形结构的轴线垂直于所述前法兰壁和所述后法兰壁并穿过所述前法兰壁和所述后法兰壁的中心，并且所述第一组进气孔在所述后法兰壁内并沿所述后法兰壁的壁面延伸。

3.根据权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述至少两组进气孔中的第二组进气孔设置在所述炉体上，且所述第二组进气孔和所述第一组进气孔之间的距离为所述炉体的长度的1/4-3/4。

4.根据权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，每一组所述进气孔均为至少两个，每一组的各个所述进气孔的延伸方向彼此平行。

5.根据权利要求2所述的镀膜装置，其特征在于，每一组所述进气孔均包括第一进气孔、第二进气孔和第三进气孔，并且各个组的所述第一进气孔的依次连线平行于所述轴线、各个组的所述第二进气孔的依次连线平行于所述轴线、各个组的所述第三进气孔的依次连线平行于所述轴线。

6.根据权利要求2所述的镀膜装置，其特征在于，每一组所述进气孔均为至少三个，且每一组的各个进气孔的延伸方向均垂直于所述轴线。

7.根据权利要求6所述的镀膜装置，其特征在于，每一组的每一对相邻的两个所述进气孔的延伸方向之间的夹角均相等。

8.根据权利要求2所述的镀膜装置，其特征在于，每一组的所有所述进气孔在所述轴线方向上位于同一高度处，且各个组在所述轴线方向上依次等间隔排布。

9.根据权利要求8所述的镀膜装置，其特征在于，每一组的所述进气孔围绕所述轴线在相对于所述轴线的周向方向上均匀排布。

10.根据权利要求8所述的镀膜装置，其特征在于，在所述镀膜装置上，在任一平行于所述轴线的方向上都至多存在一个所述进气孔。

11.根据权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，

每一组中的各个所述进气孔的径向尺寸相等，但每一组中的所述进气孔的径向尺寸不同于其他组中的所述进气孔的径向尺寸；或者

所述镀膜装置的所有所述进气孔均具有相同的径向尺寸。

12.根据权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述至少两组进气孔中的第二组进气孔设置在所述炉体上，且所述第二组的所述进气孔的径向尺寸大于所述第一组的所述进气孔的径向尺寸。

13.根据权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述镀膜装置还包括泵管，所述炉体上还设置有抽气孔，所述泵管构造为能够通过所述抽气孔将所述容纳腔内的气体抽出。

14.根据权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，每一组所述进气孔处设置有相对于其他组独立的流速调节装置，所述流速调节装置构造为用于调节排入气体的流速。

15.根据权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述镀膜装置包括进气管，所述进气管为独立于所述后法兰壁的部件并构造为能够安装在所述后法兰壁上，所述第一组进气孔形成在所述进气管内。