[实用新型]适用于喷金及喷碳仪的可伸缩、多角度、多层次载体支架

权利要求书

1.适用于喷金及喷碳仪的可伸缩、多角度、多层次载体支架，其特征在于，该载体支架包括底座（1）、可伸缩的支撑杆（2）、支撑臂（3）以及载物盘（4），

所述支撑臂（3）至少为两根，支撑臂（3）由一段固定段（3-1）和至少两段活动段（3-2）连接而成，固定段（3-1）位于支撑臂（3）的端部，固定段（3-1）与活动段（3-2）之间，以及活动段（3-2）与活动段（3-2）之间的角度可调，以实现支撑臂的折叠伸缩；

所述支撑杆（2）的一端固定在底座（1）上，各支撑臂（3）的一端安装在支撑杆（2）的不同高度位置，载物盘（4）安装在各支撑臂（3）的自由端端部，载物盘（4）的数量与支撑臂（3）的数量相同，载物盘与支撑臂（3）之间的角度可调。

2.根据权利要求1所述适用于喷金及喷碳仪的可伸缩、多角度、多层次载体支架，其特征在于，支撑臂（3）的固定段（3-1）的端部与支撑杆（2）连接，支撑臂（3）的活动段（3-2）的端部与载物盘（4）连接。

3.根据权利要求2所述适用于喷金及喷碳仪的可伸缩、多角度、多层次载体支架，其特征在于，固定段（3-1）与活动段（3-2）之间、以及活动段（3-2）与活动段（3-2）之间通过连接部件（5）连接，连接部件（5）为转轴或万向接头。

4.根据权利要求2所述适用于喷金及喷碳仪的可伸缩、多角度、多层次载体支架，其特征在于，支撑臂（3）的活动段（3-2）的端部与载物盘（4）之间通过连接部件（5）连接，连接部件（5）为转轴或万向接头。

5.根据权利要求1至4中任一权利要求所述适用于喷金及喷碳仪的可伸缩、多角度、多层次载体支架，其特征在于，支撑杆（2）中包括数量与支撑臂（3）数量相同的节式伸缩结构，各节式伸缩结构位于相邻支撑臂（3）之间的支撑杆（2）上、以及底座（1）和与底座（1）相邻的支撑臂（3）之间的支撑杆（2）上，以调节相邻支撑臂之间，以及底座和与底座相邻的支撑臂之间的距离。

6.根据权利要求1至4中任一权利要求所述适用于喷金及喷碳仪的可伸缩、多角度、多层次载体支架，其特征在于，与底座（1）相邻的支撑臂（3）位于喷金仪及喷碳仪的样品腔内的固定样品台的上方。

7.根据权利要求1至4中任一权利要求所述适用于喷金及喷碳仪的可伸缩、多角度、多层次载体支架，其特征在于，底座（1）的底部设有磁铁块（6）。

8.根据权利要求1至4中任一权利要求所述适用于喷金及喷碳仪的可伸缩、多角度、多层次载体支架，其特征在于，所述支撑臂（3）的数量为2~4根。

9.根据权利要求1至4中任一权利要求所述适用于喷金及喷碳仪的可伸缩、多角度、多层次载体支架，其特征在于，支撑臂（3）由一段固定段（3-1）和1~4段活动段（3-2）连接而成。

10.根据权利要求1至4中任一权利要求所述适用于喷金及喷碳仪的可伸缩、多角度、多层次载体支架，其特征在于，各支撑臂（3）中，活动段（3-2）的数量相同或不同。