[实用新型]适用于喷金及喷碳仪的可伸缩、多角度、多层次载体支架

说明书

本实用新型提供了适用于喷金及喷碳仪的可伸缩、多角度、多层次载体支架，包括底座、可伸缩的支撑杆支撑臂以及载物盘；所述支撑臂至少为两根，支撑臂由一段固定段和至少两段活动段连接而成，固定段位于支撑臂的端部，固定段与活动段之间，以及活动段与活动段之间的角度可调，以实现支撑臂的折叠伸缩；所述支撑杆的一端固定在底座上，各支撑臂的一端安装在支撑杆的不同高度位置，载物盘安装在各支撑臂的自由端端部，载物盘的数量与支撑臂的数量相同，载物盘与支撑臂之间的角度可调。使用该载体支架可有效提高喷金仪及喷碳仪的样品腔的空间利用率，提高扫描电镜分析喷金或喷碳前处理的效率并降低耗材成本。

技术领域

本实用新型属于扫描电镜分析技术领域，涉及适用于喷金及喷碳仪的可伸缩、多角度、多层次载体支架。

背景技术

扫描电镜分析是目前最常规的用于观测样品表面形貌、成分、物相等物理信息的分析技术。该技术适用于除液态以外的任何类型的样品，但使用的前提是样品必须导电。对于绝缘样品，通常需要在样品表面进行导电处理，例如喷金、喷碳等。

目前，普遍扫描电镜实验室都会配置常规的喷碳/金仪对样品进行表面导电处理，但这些用于做样品表面导电处理的装置仍然存在以下不足：（1）因厂家、型号不同，喷碳仪的大小规格、各自优缺点亦不同。有些仪器可以同时放入十几个大块样品，但喷碳时间较长，且形成的碳膜层较厚，不易于样品表层的观测；有些仪器虽然小巧，但每次只能放入有限大小及数量的样品，在样品数量较多的情况下，必须多次更换样品，且需要重新抛光碳棒，操作繁杂；（2）频繁抛光、消磨碳棒，操作繁杂，不仅浪费资源，增加耗材成本，而且增加了样品前处理的工作时间；（3）由于金靶耗材的价格昂贵，喷金仪的规格普遍较小，且仪器自带的固定样品托规格有限，导致放入样品腔的块状样品数量十分受限。基于此，为了更好地利用小型仪器带来的便利，同时有效缩短样品前处理时间，提供耗材成本更低、样品腔内的空间最大化利用的载体支架实属必要。

发明内容

本实用新型的目的在于克服现有技术的不足，提供一种适用于喷金及喷碳仪的可伸缩、多角度、多层次载体支架，以有效提高喷金仪及喷碳仪的样品腔的空间利用率，提高扫描电镜分析喷金或喷碳前处理的效率并降低耗材成本。

为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案如下：

本实用新型提供的适用于喷金及喷碳仪的可伸缩、多角度、多层次载体支架，包括底座、可伸缩的支撑杆、支撑臂以及载物盘，

所述支撑臂至少为两根，支撑臂由一段固定段和至少两段活动段连接而成，固定段位于支撑臂的端部，固定段与活动段之间，以及活动段与活动段之间的角度可调，以实现支撑臂的折叠伸缩；

所述支撑杆的一端固定在底座上，各支撑臂的一端安装在支撑杆的不同高度位置，载物盘安装在各支撑臂的自由端端部，载物盘的数量与支撑臂的数量相同，载物盘与支撑臂之间的角度可调。

上述适用于喷金及喷碳仪的可伸缩、多角度、多层次载体支架的技术方案中，支撑臂的固定段的端部与支撑杆连接，支撑臂的活动段的端部与载物盘连接。更进一步地，固定段与活动段之间、以及活动段与活动段之间通过连接部件连接，支撑臂的活动段的端部与载物盘之间也通过连接部件连接，所述连接部件为转轴或万向接头。当所述的连接部件为万向接头时，固定段与活动段之间、活动段与活动段之间、支撑臂连接载物盘的活动段与载物盘之间可以实现任意角度的调整；当所述的连接部件为转轴时，固定段与活动段之间、活动段与活动段之间、支撑臂连接载物盘的活动段与载物盘之间的角度可以在0°~180°之间调整。