[实用新型]一种多排硅片切割固定板有效
申请号: | 202020172529.2 | 申请日: | 2020-02-16 |
公开(公告)号: | CN211842645U | 公开(公告)日: | 2020-11-03 |
发明(设计)人: | 严慧章 | 申请(专利权)人: | 浙江常山金麟滚动轴承有限公司 |
主分类号: | B28D5/00 | 分类号: | B28D5/00;B28D7/04;B28D7/00 |
代理公司: | 北京科家知识产权代理事务所(普通合伙) 11427 | 代理人: | 宫建华 |
地址: | 324200 *** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 硅片 切割 固定 | ||
1.一种多排硅片切割固定板,其特征在于,包括支撑板(1),所述支撑板(1)顶层装有气缸(2),所述气缸(2)上设有伸缩板(3),所述伸缩板(3)上设有伸缩板凹槽(4),所述伸缩板(3)的侧面设有固定螺丝(5),所述伸缩板凹槽(4)内装有安装垫固定板(6),所述安装垫固定板(6)上设有手柄(7),所述安装垫固定板(6)下表面设有多晶硅安装垫(8),所述多晶硅安装垫(8)内安装有多晶硅(9)。
2.根据权利要求1所述的一种多排硅片切割固定板,其特征在于,所述伸缩板(3)有三个,相邻两个之间相隔20厘米。
3.根据权利要求1所述的一种多排硅片切割固定板,其特征在于,所述三个伸缩板(3)结构相同。
4.根据权利要求1所述的一种多排硅片切割固定板,其特征在于,所述固定螺丝(5)有五个,均匀分布在伸缩板(3)的右侧。
5.根据权利要求1所述的一种多排硅片切割固定板,其特征在于,所述三个伸缩板(3)上均设有手柄(7)。
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