[实用新型]一种自动寻参读码设备

权利要求书

1.一种自动寻参读码设备，其特征在于：包括，

晶圆装卸装置，用于放置晶圆传递盒和晶圆盒；

机器人装置，用于晶圆的抓取和传递；

寻参读码装置，用于读取晶圆的相关信息及寻参考边；

所述晶圆装卸装置与所述寻参读码装置通过所述机器人装置连通，将所述晶圆装卸装置上的晶圆传递盒中的晶圆取出，并放置于所述寻参读码装置上，经寻参读码后，将所述晶圆放置于所述晶圆盒上，进行倒篮搬运。

2.根据权利要求1所述的自动寻参读码设备，其特征在于：所述晶圆装卸装置包括定位机构、开盖机构和装卸控制装置，所述定位机构与所述开盖机构均与所述装卸控制装置电连接，所述装卸控制装置根据所述定位机构的信息控制所述开盖机构动作。

3.根据权利要求1或2所述的自动寻参读码设备，其特征在于：所述机器人装置包括晶圆扫描装置和吸取搬运装置，所述晶圆扫描装置设于所述吸取搬运装置上，其中，

所述晶圆扫描装置用于检测晶圆传递盒和晶圆盒中晶圆的位置和数量；

所述吸取搬运装置用于对晶圆的吸取、搬运。

4.根据权利要求3所述的自动寻参读码设备，其特征在于：所述吸取搬运装置包括机器人本体、吸取装置、第一连接臂、第二连接臂和第三连接臂，其中，

所述第一连接臂的一端与所述机器人本体连接，所述第一连接臂的另一端与所述第二连接臂连接，所述第一连接臂可相对于所述机器人本体转动和升降，同时，所述第二连接臂可相对于所述第一连接臂转动；

所述第二连接臂的另一端与所述第三连接臂连接，所述第三连接臂可相对于所述第二连接臂转动；

所述吸取装置与所述第三连接臂连接，所述吸取装置可相对于所述第三连接臂转动。

5.根据权利要求4所述的自动寻参读码设备，其特征在于：所述吸取装置为真空吸盘。

6.根据权利要求5所述的自动寻参读码设备，其特征在于：所述晶圆扫描装置为扫描传感器。

7.根据权利要求1或2或4或5或6所述的自动寻参读码设备，其特征在于：所述寻参读码装置包括寻参转动装置、参考边检测装置、晶圆信息读取装置和承载装置，其中，

所述承载装置与所述寻参转动装置连接，用于对晶圆的承载；

所述参考边检测装置与所述寻参转动装置连接，且所述参考边检测装置与所述承载装置相对应设置，用于对晶圆寻参考边；

所述晶圆信息读取装置设于所述承载装置的两侧，用于读取晶圆信息。

8.根据权利要求7所述的自动寻参读码设备，其特征在于：所述参考边检测装置为线性传感器。

9.根据权利要求8所述的自动寻参读码设备，其特征在于：所述晶圆信息读取装置为读码器。

10.根据权利要求1-2、4-6、8-9任一项所述的自动寻参读码设备，其特征在于：所述自动寻参读码设备还包括控制装置，所述控制装置分别与所述晶圆装卸装置、所述寻参读码装置和所述机器人装置电连接，控制所述晶圆装卸装置、所述寻参读码装置与所述机器人装置动作。