[实用新型]一种自动寻参读码设备

说明书

本实用新型提供一种自动寻参读码设备，包括晶圆装卸装置，用于放置晶圆传递盒和晶圆盒；机器人装置，用于晶圆的抓取和传递；寻参读码装置，用于读取晶圆的相关信息及寻参考边；晶圆装卸装置与寻参读码装置通过机器人装置连通，将晶圆装卸装置上的晶圆传递盒中的晶圆取出，并放置于寻参读码装置上，经寻参读码后，将晶圆放置于晶圆盒上，进行倒篮搬运。本实用新型的有益效果是能够实现自动并准确寻找参考边、读取打标号与搬运倒篮，有效地避免了人为读错、增加颗粒度的风险，提高读码效率，减少劳动强度，降低人工成本。

技术领域

本实用新型属于硅片生产设备技术领域，尤其是涉及一种自动寻参读码设备。

背景技术

在硅片生产过程中，需要进行搬运，在硅片搬运中,人为搬运和手持读取，很容易产生颗粒和错误数据，工作效率低，劳动强度大。

发明内容

鉴于上述问题，本实用新型要解决的问题是提供一种自动寻参读码设备，通过自动化设备，可以快速的搬运，并且保证洁净度、提高信息读取正确率，提高自动化程度。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：一种自动寻参读码设备，其特征在于：包括，

晶圆装卸装置，用于放置晶圆传递盒和晶圆盒；

机器人装置，用于晶圆的抓取和传递；

寻参读码装置，用于读取晶圆的相关信息及寻参考边；

晶圆装卸装置与寻参读码装置通过机器人装置连通，将晶圆装卸装置上的晶圆传递盒中的晶圆取出，并放置于寻参读码装置上，经寻参读码后，将晶圆放置于晶圆盒上，进行倒篮搬运。

具体的，晶圆装卸装置包括定位机构、开盖机构和装卸控制装置，定位机构与开盖机构均与装卸控制装置电连接，装卸控制装置根据定位机构的信息控制开盖机构动作。

具体的，机器人装置包括晶圆扫描装置和吸取搬运装置，晶圆扫描装置设于吸取搬运装置上，其中，

晶圆扫描装置用于检测晶圆传递盒和晶圆盒中晶圆的位置和数量；

吸取搬运装置用于对晶圆的吸取、搬运。

进一步的，吸取搬运装置包括机器人本体、吸取装置、第一连接臂、第二连接臂和第三连接臂，其中，

第一连接臂的一端与机器人本体连接，第一连接臂的另一端与第二连接臂连接，第一连接臂可相对于机器人本体转动和升降，同时，第二连接臂可相对于第一连接臂转动；

第二连接臂的另一端与第三连接臂连接，第三连接臂可相对于第二连接臂转动；

吸取装置与第三连接臂连接，吸取装置可相对于第三连接臂转动。

进一步的，吸取装置为真空吸盘。

进一步的，晶圆扫描装置为扫描传感器。

具体的，寻参读码装置包括寻参转动装置、参考边检测装置、晶圆信息读取装置和承载装置，其中，

承载装置与寻参转动装置连接，用于对晶圆的承载；

参考边检测装置与寻参转动装置连接，且参考边检测装置与承载装置相对应设置，用于对晶圆寻参考边；

晶圆信息读取装置设于承载装置的两侧，用于读取晶圆信息。

进一步的，参考边检测装置为线性传感器。

进一步的，晶圆信息读取装置为读码器。

进一步的，自动寻参读码设备还包括控制装置，控制装置分别与晶圆装卸装置、寻参读码装置和机器人装置电连接，控制晶圆装卸装置、寻参读码装置与机器人装置动作。