[实用新型]一种新型晶圆探针台

权利要求书

1.一种新型晶圆探针台，其特征在于，包括：

PCB夹具，所述PCB夹具包括至少一对卡座及用于安装所述卡座的支撑架，每对所述卡座分别设置于所述PCB相对的两侧壁，每对所述卡座之间的间距可调，以用于替换安装不同尺寸的PCB；

探针夹具，用于安装探针；

第一驱动机构，用于驱动所述探针夹具沿不同方向移动；

相机夹具，用于安装相机；

第二驱动机构，用于驱动所述相机夹具沿不同方向移动；

所述PCB的一板面对应设置一个以上所述第一驱动机构，以及一个以上所述第二驱动机构。

2.根据权利要求1所述的新型晶圆探针台，其特征在于：

每对所述卡座中至少有一个卡座在所述支撑架上沿靠近或远离另一卡座的方向做往复运动，以调节每对所述卡座之间的间距。

3.根据权利要求2所述的新型晶圆探针台，其特征在于：

还包括紧固件；

所述卡座设有卡槽，所述PCB相对设置的两个侧壁分别容设于所述卡槽中；

所述卡槽的侧壁上设有紧固孔，所述紧固件插设于所述紧固孔内并抵设所述PCB的板面，以固定所述PCB。

4.根据权利要求3所述的新型晶圆探针台，其特征在于：

所述紧固件为弹性件，所述紧固件包括紧固座、紧固螺丝、调节螺丝及弹簧，所述紧固座上开设有螺孔及穿孔，所述紧固螺丝穿过所述螺孔与所述卡槽的侧壁拧接，所述调节螺丝依次穿过所述穿孔及所述紧固孔与所述PCB抵接，所述弹簧套设在所述调节螺丝上，所述弹簧位于所述卡座与所述紧固座之间；

或，所述紧固件为钢性件。

5.根据权利要求1-4中任意一项所述的新型晶圆探针台，其特征在于：

所述第一驱动机构带动所述探针夹具沿三个不同方向做直线往复运动，三个方向为沿垂直于所述PCB的第一方向，以及平行于所述PCB的第二方向和第三方向,所述第二方向与所述第三方向呈角度设置；

所述第二驱动机构带动所述相机夹具沿三个不同方向做直线往复运动，三个方向为沿垂直于所述PCB的所述第一方向，以及平行于所述PCB的第四方向和第五方向，所述第四方向与所述第五方向呈角度设置。

6.根据权利要求5所述的新型晶圆探针台，其特征在于：

所述第一驱动机构包括沿所述第一方向带动所述探针夹具靠近或远离所述PCB的第一子驱动机构，沿所述第二方向带动所述探针夹具做往复运动的第二子驱动机构，以及沿所述第三方向带动所述探针夹具做往复运动的第三子驱动机构；

所述第一子驱动机构、所述第二子驱动机构或所述第三子驱动机构安装一所述探针夹具。

7.根据权利要求6所述的新型晶圆探针台，其特征在于：

所述探针夹具包括安装板和用于与所述第一驱动机构连接的安装座，所述安装板与所述安装座连接；

所述安装板设有两个以上用于安装所述探针的螺孔。

8.根据权利要求5所述的新型晶圆探针台，其特征在于：

所述第二驱动机构包括沿所述第一方向带动所述相机夹具靠近或远离所述PCB的第四子驱动机构，沿所述第四方向带动所述相机夹具做往复运动的第五子驱动机构，以及沿所述第五方向带动所述相机夹具做往复运动的第六子驱动机构；

所述第四子驱动机构、所述第五子驱动机构或所述第六子驱动机构安装一所述相机夹具。

9.根据权利要求8所述的新型晶圆探针台，其特征在于，还包括：

箱体，所述第四子驱动机构设置在所述箱体的上侧，所述第六子驱动机构带动所述相机夹具靠近或远离所述箱体移动；

当所述相机夹具移动至远离所述箱体时，所述相机夹具位于所述箱体的上侧；

当所述相机夹具移动至靠近所述箱体时，所述相机夹具位于所述箱体的内部。

10.根据权利要求9所述的新型晶圆探针台，其特征在于，还包括：

悬挂架，所述悬挂架设置在所述箱体的上侧，所述第五子驱动机构设置在所述悬挂架上。