[实用新型]一种新型晶圆探针台

说明书

本实用新型涉及探针台技术领域，公开了一种新型晶圆探针台，包括：PCB夹具，用于可替换安装不同尺寸的PCB，所述PCB夹具包括至少一对卡座及用于安装所述卡座的支撑架，每对所述卡座分别设置于所述PCB相对的两侧壁，每对所述卡座之间的间距可调；探针夹具，用于安装探针；第一驱动机构，用于驱动所述探针夹具沿不同方向移动；相机夹具，用于安装相机；第二驱动机构，用于驱动所述相机夹具沿不同方向移动；所述PCB的一板面对应设置一个以上所述第一驱动机构，以及一个以上所述第二驱动机构。实现了晶圆探针台检测不同尺寸的PCB，节约企业成本，产品多样化、成本低，满足不同客户需求。

技术领域

本实用新型涉及探针台技术领域，尤其涉及一种新型晶圆探针台。

背景技术

晶圆探针台是半导体工艺线上的中间测试设备，晶圆探针台具备晶圆级测试能力，即微米级量测控制精度，其与测试仪连接后，能自动完成对集成电路及各种晶体管芯电参数和功能的测试。

随着科技的快速发展，通讯领域更新换代的间隔时间日趋缩短，导致现有的一些晶圆探针台由于使用局限性较大，只能实现某种特定尺寸或类型的PCB的测试，根本不适用目前日趋多尺寸的PCB产品，导致通讯产品的公司需要购置多类型的晶圆探针台以满足其产品日益多样化的测式需求；同时，因此产品更新换代很快，导致之前使用过的晶圆探针台只能作废，反复购置和闲置晶圆探针台使得公司的测试成本较高，且晶圆探针台占用存放空间，进一步提高了公司的成本。因此，本领域技术人员亟待提供一种适用于多种尺寸的新型晶圆探针台，以实现晶圆探针台的反复使用率，降低晶圆探针台的机台空闲率，满足不同尺寸的PCB使用，从而降低公司的测试成本。

发明内容

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种新型晶圆探针台，实现了晶圆探针台检测不同尺寸的PCB，节约企业成本，产品多样化、成本低，满足不同客户需求。

本实用新型提供的技术方案如下：

一种新型晶圆探针台，包括：

PCB夹具，用于可替换安装不同尺寸的PCB，所述PCB夹具包括至少一对卡座及用于安装所述卡座的支撑架，每对所述卡座分别设置于所述PCB相对的两侧壁，每对所述卡座之间的间距可调；

探针夹具，用于安装探针；

第一驱动机构，用于驱动所述探针夹具沿不同方向移动；

相机夹具，用于安装相机；

第二驱动机构，用于驱动所述相机夹具沿不同方向移动；

所述PCB的一板面对应设置一个以上所述第一驱动机构，以及一个以上所述第二驱动机构。

本技术方案中，PCB夹具可替换安装多个不同尺寸的PCB，进而实现不同尺寸(长、宽、高尺寸中至少一个尺寸不同)的PCB的检测；一台本实用新型可适用不同类型的PCB，无需企业花大成本购置对应不同尺寸PCB的现有晶圆探针台，避免了机台的空置，大大提高了本实用新型的使用率，同时由于一台本实用新型可应用于不同种类的PCB，较之现有，大大降低了机台空间占用体积；更优的，本实用新型可适用于单面需要检测的PCB，也适用于双面均需要检测的PCB；更优的，由于PCB的每一板面对应设置一个以上驱动机构，从而根据检测点的数量不同的PCB设置一个(检测点少时)或多个(两个以上)的驱动机构，从而在实现本实用新型的优化效率(每一驱动机构可带动设置其上的探针夹具单独运行)的同时节约了本实用新型的成本；从而满足不同客户需求。

进一步优选地，每对所述卡座中至少有一个卡座在所述支撑架上沿垂直于所述侧壁的方向做往复运动，所述卡座与所述支撑件可拆卸连接。

进一步优选地，所述卡座设有卡槽，所述PCB相对设置的两个侧壁分别容设于所述卡槽中；

所述卡槽的侧壁上设有紧固孔，紧固件容设于所述紧固孔以抵设所述PCB的板面。