[实用新型]电极探针连接装置和系统

权利要求书

1.一种电极探针连接装置，其特征在于，包括探针机构和用于放置待测芯片的载物台；

所述探针机构包括多自由度驱动座、探针支架和用于检测所述待测芯片的电极探针，所述多自由度驱动座设置在所述载物台的一侧；所述电极探针连接在所述探针支架的第一端，所述探针支架的第二端连接在所述多自由度驱动座上，以使所述多自由度驱动座驱动所述探针支架的第二端以多自由度移动，并使所述探针机构接触或远离所述待测芯片。

2.根据权利要求1所述的电极探针连接装置，其特征在于，所述探针机构设置有两个。

3.根据权利要求2所述的电极探针连接装置，其特征在于，两个所述探针机构对称设置在所述载物台的两侧。

4.根据权利要求1所述的电极探针连接装置，其特征在于，所述多自由度驱动座包括第一驱动机构、第二驱动机构、第一滑块、第二滑块、第一导轨和第二导轨；

所述第一导轨和所述载物台的下端均设置在工作端面上，所述第一滑块滑动连接在所述第一导轨上，所述第一驱动机构分别与所述第一导轨、所述第一滑块连接，以使所述第一驱动机构驱动所述第一滑块在所述第一导轨上滑动；

所述第二导轨的下端固定在所述第一滑块上，所述第二滑块滑动连接在所述第二导轨上，所述第二驱动机构分别与所述第二导轨、所述第二滑块连接，以使所述第二驱动机构驱动所述第二滑块在所述第二导轨上滑动；

所述探针支架的第二端连接在所述第二滑块上，所述第一导轨与所述第二导轨不平行。

5.根据权利要求4所述的电极探针连接装置，其特征在于，所述第一导轨与所述第二导轨相垂直。

6.根据权利要求4所述的电极探针连接装置，其特征在于，所述第一导轨指向所述载物台，以使所述第一滑块在所述第一驱动机构的驱动下，所述第一滑块在所述第一导轨上远离或靠近所述载物台。

7.根据权利要求4所述的电极探针连接装置，其特征在于，所述多自由度驱动座还包括升降轨道、升降块和第三驱动机构；

所述升降轨道的下端固定在所述第二滑块上，所述升降块滑动连接在所述升降轨道上，所述第三驱动机构分别与所述升降轨道、所述升降块连接，以使所述第三驱动机构驱动所述升降块在所述升降轨道上移动，所述探针支架的第二端固定在所述升降块上。

8.根据权利要求1所述的电极探针连接装置，其特征在于，该电极探针连接装置还包括旋转驱动座，所述载物台设置在所述旋转驱动座上，以使所述旋转驱动座驱动所述载物台水平旋转。

9.根据权利要求8所述的电极探针连接装置，其特征在于，该电极探针连接装置还包括摄像头和固定支架；

所述固定支架的下端固定在所述旋转驱动座上，所述摄像头固定在所述固定支架的上端，且所述摄像头位于所述载物台的上方，所述摄像头的拍摄方向对准放置于所述载物台上的所述待测芯片。

10.一种电极探针连接系统，其特征在于，该系统包括如权利要求1-9任一项所述的电极探针连接装置。