[实用新型]电极探针连接装置和系统

说明书

本申请公开了一种电极探针连接装置和系统。该电极探针连接装置包括：探针机构和用于放置待测芯片的载物台；所述探针机构包括多自由度驱动座、探针支架和用于检测所述待测芯片的电极探针，所述多自由度驱动座设置在所述载物台的一侧；所述电极探针连接在所述探针支架的第一端，所述探针支架的第二端连接在所述多自由度驱动座上，以使所述多自由度驱动座驱动所述探针支架的第二端以多自由度移动，并使所述探针机构接触或远离所述待测芯片。本申请可以解决相关技术中无法稳定地将电极探针稳定连接在芯片上的技术问题。

技术领域

本申请涉及芯片检测技术领域，具体而言，涉及一种电极探针连接装置和系统。

背景技术

随着半导体工艺的发展，芯片上元器件愈发密集，测试难度也愈发增大。对于量产芯片，由于其设计已经确定，一般采用预设电路和夹具，将芯片插入测试孔进行测试。而对于还处于设计迭代阶段的样片，由于设计不固定，形状不确定，无法使用预设的电路和夹具，一般采用手工连接的方式进行测试。由于芯片电路复杂，尺寸小，操作人员必须长时间集中注意力将通过人手将电极探针连接在芯片对应引脚上，费时费力，且容易出错。

针对相关技术中无法稳定地将电极探针稳定连接在芯片上的问题，目前尚未提出有效的解决方案。

发明内容

本申请的主要目的在于提供一种电极探针连接装置和系统，以解决相关技术中无法稳定地将电极探针稳定连接在芯片上的问题。

为了实现上述目的，本申请提供了一种电极探针连接装置，包括探针机构和用于放置待测芯片的载物台；

所述探针机构包括多自由度驱动座、探针支架和用于检测所述待测芯片的电极探针，所述多自由度驱动座设置在所述载物台的一侧；所述电极探针连接在所述探针支架的第一端，所述探针支架的第二端连接在所述多自由度驱动座上，以使所述多自由度驱动座驱动所述探针支架的第二端以多自由度移动，并使所述探针机构接触或远离所述待测芯片。

可选地，所述探针机构设置有两个。

可选地，两个所述探针机构对称设置在所述载物台的两侧。

可选地，所述多自由度驱动座包括第一驱动机构、第二驱动机构、第一滑块、第二滑块、第一导轨和第二导轨；

所述第一导轨和所述载物台的下端均设置在工作端面上，所述第一滑块滑动连接在所述第一导轨上，所述第一驱动机构分别与所述第一导轨、所述第一滑块连接，以使所述第一驱动机构驱动所述第一滑块在所述第一导轨上滑动；

所述第二导轨的下端固定在所述第一滑块上，所述第二滑块滑动连接在所述第二导轨上，所述第二驱动机构分别与所述第二导轨、所述第二滑块连接，以使所述第二驱动机构驱动所述第二滑块在所述第二导轨上滑动；

所述探针支架的第二端连接在所述第二滑块上，所述第一导轨与所述第二导轨不平行。

可选地，所述第一导轨与所述第二导轨相垂直。

可选地，所述第一导轨指向所述载物台，以使所述第一滑块在所述第一驱动机构的驱动下，所述第一滑块在所述第一导轨上远离或靠近所述载物台。

可选地，所述多自由度驱动座还包括升降轨道、升降块和第三驱动机构；

所述升降轨道的下端固定在所述第二滑块上，所述升降块滑动连接在所述升降轨道上，所述第三驱动机构分别与所述升降轨道、所述升降块连接，以使所述第三驱动机构驱动所述升降块在所述升降轨道上移动，所述探针支架的第二端固定在所述升降块上。

可选地，该电极探针连接装置还包括旋转驱动座，所述载物台设置在所述旋转驱动座上，以使所述旋转驱动座驱动所述载物台水平旋转。

可选地，该电极探针连接装置还包括摄像头和固定支架；