[实用新型]硅片小舟搬运夹爪有效
申请号: | 202020187053.X | 申请日: | 2020-02-19 |
公开(公告)号: | CN211654782U | 公开(公告)日: | 2020-10-09 |
发明(设计)人: | 黄文杰 | 申请(专利权)人: | 无锡市江松科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;H01L21/677;H01L21/687 |
代理公司: | 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260 | 代理人: | 朱晓林 |
地址: | 214000 江苏省无锡市无*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 硅片 小舟 搬运 | ||
1.硅片小舟搬运夹爪,其特征在于,包括旋转部、夹紧部、抵接部和托举部,所述旋转部包括旋转动力装置和安装板,所述旋转动力装置的动力端与所述安装板连接,所述夹紧部包括夹紧动力装置、夹紧动力传输部和夹紧块,所述夹紧块连接在所述夹紧动力传输部的一端,所述夹紧动力装置连接在所述夹紧动力传输部的一端,所述夹紧动力装置安装在所述安装板上,所述抵接部包括抵接板、抵接动力装置,所述抵接动力装置的固定端固定在所述安装板上,所述抵接动力装置的活动端与所述抵接板一端铰接,所述抵接板与所述安装板铰接,所述托举部包括托举板,所述托举板设置在所述夹紧块上。
2.根据权利要求1所述的硅片小舟搬运夹爪,其特征在于,所述夹紧动力传输部包括载板、连接板、三角板,所述载板与所述安装板固定连接,所述连接板通过滑轨滑块可活动的安装在所述载板上,所述夹紧动力装置的固定端固定在所述载板上,所述夹紧动力装置的活动端与所述三角板的第一个角点铰接,所述三角板的第二个角点与所述载板铰接,所述载板对应所述三角板的第三个角点开设有腰孔,所述三角板的第三个角点上设有滚轮,所述滚轮安装在所述腰孔内。
3.根据权利要求1所述的硅片小舟搬运夹爪,其特征在于,所述托举板上对应硅片的位置设有齿条。
4.根据权利要求1所述的硅片小舟搬运夹爪,其特征在于,所述托举部还设有伸缩动力装置,所述伸缩动力装置的固定端固定在所述安装板上,所述伸缩动力装置的活动端连接所述托举板。
5.根据权利要求1所述的硅片小舟搬运夹爪,其特征在于,所述旋转动力装置包括旋转气缸、第一连杆和第二连杆,所述旋转气缸的固定端固定在所述安装板上,所述旋转气缸的活动端与所述第一连杆的一端铰接,所述第一连杆的另一端与所述第二连杆的一端铰接,所述第二连杆的另一端与所述安装板铰接。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造