[实用新型]硅片小舟搬运夹爪有效
申请号: | 202020187053.X | 申请日: | 2020-02-19 |
公开(公告)号: | CN211654782U | 公开(公告)日: | 2020-10-09 |
发明(设计)人: | 黄文杰 | 申请(专利权)人: | 无锡市江松科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;H01L21/677;H01L21/687 |
代理公司: | 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260 | 代理人: | 朱晓林 |
地址: | 214000 江苏省无锡市无*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 硅片 小舟 搬运 | ||
本实用新型公开了硅片小舟搬运夹爪,涉及硅片搬运技术领域。硅片小舟搬运夹爪包括旋转部、夹紧部、抵接部和托举部。通过夹紧动力装置将夹紧动力通过夹紧动力传输部传输带夹紧块上,通过夹紧块夹紧硅片小舟,从而实现对硅片小舟的位置的固定,再次通过抵接板抵接硅片小舟的端耳,进一步固定小舟在夹爪中的位置,通过旋转动力装置带动安装板的旋转,从而使得夹爪实现翻转的动作进而带动硅片小舟实现翻转操作,通过托举板的设置,保证了小舟翻转以后小舟内部的硅片不会洒落出来,进而避免了产品的损坏,通过托举板的托举作用保证了产品的良品率。
技术领域
本实用新型涉及硅片搬运技术领域,尤其涉及一种硅片小舟搬运夹爪。
背景技术
现市面上硅片小舟的翻转采用的是人力搬运的翻转方式,硅片小舟的整体质量较大,从而使得人力在翻转小舟的时候耗费大量的人力,效率低下,且难以对小舟中的硅片进行规整定位,从而容易导致小舟内的硅片发生碎裂,即使没有发生碎裂也极容易存在隐裂的隐患。
实用新型内容
为了能够提高小舟的翻转效率,本实用新型的技术方案提供了一种硅片小舟搬运夹爪。技术方案如下:
本实用新型提供了一种硅片小舟搬运夹爪,包括旋转部、夹紧部、抵接部和托举部,旋转部包括旋转动力装置和安装板,旋转动力装置的动力端与安装板连接,夹紧部包括夹紧动力装置、夹紧动力传输部和夹紧块,夹紧块连接在夹紧动力传输部的一端,夹紧动力装置连接在夹紧动力传输部的一端,夹紧动力装置安装在安装板上,抵接部包括抵接板、抵接动力装置,抵接动力装置的固定端固定在安装板上,抵接动力装置的活动端与抵接板一端铰接,抵接板与安装板铰接,托举部包括托举板,托举板设置在夹紧块上。
通过夹紧动力装置将夹紧动力通过夹紧动力传输部传输带夹紧块上,通过夹紧块夹紧硅片小舟,从而实现对硅片小舟的位置的固定,再次通过抵接板抵接硅片小舟的端耳,进一步固定小舟在夹爪中的位置,通过旋转动力装置带动安装板的旋转,从而使得夹爪实现翻转的动作进而带动硅片小舟实现翻转操作,通过托举板的设置,保证了小舟翻转以后小舟内部的硅片不会洒落出来,进而避免了产品的损坏,通过托举板的托举作用保证了产品的良品率。
在第一方面的第一种可能的实现方式中,夹紧动力传输部包括载板、连接板、三角板,载板与安装板固定连接,连接板通过滑轨滑块可活动的安装在载板上,夹紧动力装置的固定端固定在载板上,夹紧动力装置的活动端与三角板的第一个角点铰接,三角板的第二个角点与载板铰接,载板对应三角板的第三个角点开设有腰孔,三角板的第三个角点上设有滚轮,滚轮安装在腰孔内。
夹紧动力装置将动力直接传输达到三角板的第一角点上,通过腰孔的设置舍得三角板的第三个点能够在腰孔内上下运动,进而使得连接板可以相对于载板进行横移的侗族,从而实现了夹爪的夹合动作。
结合第一方面或第一方面的第一种可能的实现方式,在第一方面的第二种可能的实现方式中,托举板上对应硅片的位置设有齿条。
通过齿条的设置,使得硅片可以卡盛在齿条上的齿槽内,从而保证了硅片的位置不会发生相对错位,进而提高了硅片的稳定性。
结合第一方面或第一方面的第二种可能的实现方式,在第一方面的第三种可能的实现方式中,托举部还设有伸缩动力装置,伸缩动力装置的固定端固定在安装板上,伸缩动力装置的活动端连接托举板。
通过伸缩动力装置的设置,使得托举板可以在未翻转的时候就可以贴近小舟里面的硅片从而避免硅片在翻转的时候需要产生较大的位移,从而避免了硅片的损坏,进而提高了产品的良品率。
结合第一方面至第一方面的第三种可能的实现方式,在第一方面的第四种可能的实现方式中,旋转动力装置包括旋转气缸、第一连杆和第二连杆,旋转气缸的固定端固定在安装板上,旋转气缸的活动端与第一连杆的一端铰接,第一连杆的另一端与第二连杆的一端铰接,第二连杆的另一端与安装板铰接。
附图说明
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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