[实用新型]PECVD装卸片机

说明书

本实用新型公开了PECVD装卸片机，涉及硅片搬运和输送的技术领域。PECVD装卸片机通过石墨舟运载轨道设置在硅片运载轨道的一侧，且石墨舟运载轨道所在的水平面高于硅片运载轨道所在的水平面，石墨舟运载轨道所在的水平面低于硅片缓存装置的底部所在的水平面的设置，使得机器人在从硅片缓存装置处获取硅片后插入石墨舟的时候，机器人的运动路径大大缩短，降低了硅片从硅片缓存装置到石墨舟中的时间，进而大大加快了硅片运转效率。

技术领域

本实用新型涉及硅片搬运和输送的技术领域，尤其涉及PECVD装卸片机。

背景技术

传统的硅片装卸片机一般都在硅片缓存装置旁边至少这有两排石墨舟输送线，例如中国专利CN207909850U，此专利中就设置了两个石墨舟轨道，这样的设置使得整机的长度大大增加，同时使得搬运机器人的行走路径变为尤为复杂和冗长，从而导致搬运效率大大降低。

实用新型内容

本实用新型的技术方案提供了PECVD装卸片机，能够减少机器人的运行路径，大大提升硅片搬运效率。具体技术方案如下：

PECVD装卸片机，包括硅片运载轨道、硅片缓存装置、石墨舟运载轨道、搬运机器人，硅片运载轨道设置在硅片缓存装置的正下方，硅片运载轨道被配置于向硅片缓存装置输送硅片，硅片缓存装置被配置于从硅片运载轨道上获取硅片并将硅片供给搬运机器人，石墨舟运载轨道设置在硅片运载轨道的一侧，且石墨舟运载轨道所在的水平面高于硅片运载轨道所在的水平面，石墨舟运载轨道所在的水平面低于硅片缓存装置的底部所在的水平面，搬运机器人设置在硅片运载轨道的一侧且与石墨舟运载轨道同侧，石墨舟运载轨道设置在硅片运载轨道与搬运机器人之间，搬运机器人被配置于从硅片缓存装置处获取硅片并将硅片搬运给石墨舟运载轨道，石墨舟运载轨道被配置于承载石墨舟并利用石墨舟从搬运机器人处获取硅片。

通过石墨舟运载轨道设置在硅片运载轨道的一侧，且石墨舟运载轨道所在的水平面高于硅片运载轨道所在的水平面，石墨舟运载轨道所在的水平面低于硅片缓存装置的底部所在的水平面的设置，使得机器人在从硅片缓存装置处获取硅片后插入石墨舟的时候，机器人的运动路径大大缩短，降低了硅片从硅片缓存装置到石墨舟中的时间，进而大大加快了硅片运转效率。

具体的，硅片缓存装置包括升降动力装置和花篮，花篮设置在升降动力装置的活动端。

具体的，搬运机器人末端设有硅片搬运夹爪。

附图说明

此处的附图被并入说明书中并构成说明书的一部分，示出了符合本实用新型的实施例，并与说明书一起用于解释本实用新型的原理，其中：

图1为PECVD装卸片机的结构示意图；

图2为图1的侧视图。

附图标记：1硅片运载轨道、2硅片缓存装置、3石墨舟运载轨道、4搬运机器人

具体实施方式

传统的硅片装卸片机一般都在硅片缓存装置旁边至少这有两排石墨舟输送线，例如中国专利CN207909850U，此专利中就设置了两个石墨舟轨道，这样的设置使得整机的长度大大增加，同时使得搬运机器人的行走路径变为尤为复杂和冗长，从而导致搬运效率大大降低。

为了能够减少机器人的运行路径，大大提升硅片搬运效率，本实用新型的技术方案提供了PECVD装卸片机。技术方案如下：

下面根据图1和图2对本实用新型做进一步详细说明。