[实用新型]卡规有效
| 申请号： | 202020188646.8 | 申请日： | 2020-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN212030410U | 公开（公告）日： | 2020-11-27 |
| 发明（设计）人： | 唐升 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01B5/14 | 分类号： | G01B5/14 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 曹廷廷 |
| 地址： | 201315*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 卡规 | ||
【权利要求书】：
1.一种卡规，用于在扩散炉管中固定长注射器与石英管内壁的变径处的安装间距，其特征在于，所述卡规包括相连接的卡规本体和把手，所述把手的长度可使所述卡规本体伸入到所述石英管内壁的变径处，所述卡规本体可贴合所述石英管内壁进行弯曲，所述卡规本体的厚度与所述安装间距相适应。
2.如权利要求1所述的卡规，其特征在于，所述卡规本体的厚度在1.3～2.8mm之间。
3.如权利要求1所述的卡规，其特征在于，所述卡规本体的厚度为2mm。
4.如权利要求1所述的卡规，其特征在于，所述卡规本体为长方形，所述把手与所述卡规本体的长边连接。
5.如权利要求4所述的卡规，其特征在于，所述卡规本体的长度小于所述石英管内壁的变径处的直径。
6.如权利要求4所述的卡规，其特征在于，所述卡规本体的长度为300mm。
7.如权利要求4所述的卡规，其特征在于，所述卡规本体的宽度为150mm。
8.如权利要求1所述的卡规，其特征在于，所述卡规本体呈网格状镂空结构。
9.如权利要求1所述的卡规，其特征在于，所述卡规本体的材质为特氟龙。
10.如权利要求1所述的卡规，其特征在于，所述把手的长度为600mm。
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