[实用新型]卡规

说明书

本实用新型提供了一种卡规，用于在扩散炉管中固定长注射器与石英管内壁的变径处的安装间距，卡规包括相连接的卡规本体和把手，把手的长度可使卡规本体伸入到石英管内壁的变径处，卡规本体可贴合石英管内壁进行弯曲，卡规本体的厚度与安装间距相适应。使用卡规时，将卡规伸入到石英管内壁的变径处并使卡规本体的一面紧贴石英管内壁，再伸入长注射器并使注射器紧贴卡规本体的另一面，安装固定注射器后，移走卡规，此时注射器与石英管内壁的变径处的安装间距即为卡规本体的厚度。本实用新型的应用使得注射器的安装位置标准化，防止长注射器与石英管内壁的变径处的安装间距过大或者过小，从而降低制品报废的风险，提高制品良率，保证制品器件性能。

技术领域

本实用新型涉及半导体集成电路制造领域，特别涉及一种卡规。

背景技术

在扩散炉管中，制程气体通过石英材质的注射器通向石英管内进行制程反应。如图1所示的扩散炉管，包括多个短注射器和两个长注射器01，两个长注射器01均用于通硅烷。这两根用于通硅烷的长注射器01相较于短注射器安装难度较高，另外，由于两根长注射器需要伸入石英管内安装，而石英管内壁存在圆弧形的变径处(口径缩小)，与长注射器的安装间距难以确认，而长注射器与石英管内壁的安装间距过大或者过小都会有制品报废的风险。

若两根长注射器安装后与石英管内壁的变径处间距过小(例如1.5mm)，会造成石英管内壁与长注射器贴近的一面无法被干法刻蚀干净，长注射器的石英表面会残留副产物，随着累计膜厚增加造成剥落，导致颗粒超标，影响制品良率；若两根长注射器安装后与石英管内壁的变径处间距过大(例如3mm)，会造成装载晶圆的石英晶舟在上升过程中与两根长注射器碰撞，导致石英晶舟碎裂，制品报废。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种卡规，以解决现有技术中扩散炉管中长注射器安装后与石英管内壁的变径处间距过大或者过小，导致制品良率低或者制品报废的问题。具体技术方案如下：

一种卡规，用于在扩散炉管中固定长注射器与石英管内壁的变径处的安装间距，所述卡规包括相连接的卡规本体和把手，所述把手的长度可使所述卡规本体伸入到所述石英管内壁的变径处，所述卡规本体可贴合所述石英管内壁进行弯曲，所述卡规本体的厚度与所述安装间距相适应。

可选的，所述卡规本体的厚度在1.3～2.8mm之间。

可选的，所述卡规本体的厚度为2mm。

可选的，所述卡规本体为长方形，所述把手与所述卡规本体的长边连接。

可选的，所述卡规本体的长度小于所述石英管内壁的变径处的直径。

可选的，所述卡规本体的长度为300mm。

可选的，所述卡规本体的宽度为150mm。

可选的，所述卡规本体呈网格状镂空结构。

可选的，所述卡规本体的材质为特氟龙。

可选的，所述把手的长度为600mm。

本实用新型提供的一种卡规，具有以下有益效果：一种卡规，用于在扩散炉管中固定长注射器与石英管内壁的变径处的安装间距，所述卡规包括相连接的卡规本体和把手，所述把手的长度可使所述卡规本体伸入到所述石英管内壁的变径处，所述卡规本体可贴合所述石英管内壁进行弯曲，所述卡规本体的厚度与所述安装间距相适应。使用所述卡规时，先将所述卡规伸入到石英管内壁的变径处并使所述卡规本体的一面紧贴石英管内壁，然后伸入长注射器并使注射器紧贴所述卡规本体的另一面，再安装固定注射器，最后移走所述卡规，此时注射器与石英管内壁的变径处的安装间距即为所述卡规本体的厚度。本实用新型的应用使得注射器的安装位置标准化，防止长注射器与石英管内壁变径处的安装间距过大或者过小，从而降低制品报废的风险，提高制品良率，保证制品器件性能。

附图说明