[实用新型]磨削装置有效
申请号: | 202020197366.3 | 申请日: | 2020-02-21 |
公开(公告)号: | CN211805276U | 公开(公告)日: | 2020-10-30 |
发明(设计)人: | 岩濑比宇麻 | 申请(专利权)人: | 中村留精密工业株式会社 |
主分类号: | B24B9/06 | 分类号: | B24B9/06;B24B27/00;B24B47/12 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 李丹 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 磨削 装置 | ||
1.一种磨削装置,其特征在于,具备:
转台,对圆盘状基板进行载置以及旋转控制;
砂轮,用于对所述圆盘状基板的周端部进行磨削;以及
砂轮安装部,安装所述砂轮,
在所述转台和砂轮安装部中的一方或者双方具有Z轴方向以及X轴方向的控制单元,所述Z轴方向是与所述转台的旋转轴平行的上下方向,所述X轴方向是相对水平方向,所述砂轮安装部具有绕Z轴的C轴控制单元,
在所述砂轮安装部能够安装用于在Z轴方向上切入所述圆盘状基板的垂直加工砂轮以及用于将所述圆盘状基板的周端部倒角成剖面凸曲面形状的倒角砂轮。
2.根据权利要求1所述的磨削装置,其特征在于,
所述砂轮安装部能够安装所述垂直加工砂轮和所述倒角砂轮双方。
3.根据权利要求1所述的磨削装置,其特征在于,
所述垂直加工砂轮和所述倒角砂轮形成为一体。
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