[实用新型]半导体制作设备电磁加热盘专用焊接波纹管

权利要求书

1.半导体制作设备电磁加热盘专用焊接波纹管，其特征在于：包括导向管、第一连接端盘、第二连接端盘、以及由合金材料制成的波纹管段，其中第一连接端盘和第二连接端盘轴心处均具有安装孔，所述第一连接端盘通过安装孔套装在导向管外环面，且第一连接端盘与导向管间隙配合，所述第二连接端盘通过安装孔固定的安装在导向管第一端部，且导向管轴心与第二连接端盘主延展面相互垂直，所述波纹管段位于套装在导向管外部且位于第一连接端盘和第二连接端盘之间，所述波纹管两端分别固定连接第一连接端盘和第二连接端盘的端面，且在自由状态下导向管和波纹管段同轴心设置。

2.根据权利要求1所述的半导体制作设备电磁加热盘专用焊接波纹管，其特征在于：所述导向管靠近第二端的外环面上设有至少一组对接环槽。

3.根据权利要求1所述的半导体制作设备电磁加热盘专用焊接波纹管，其特征在于：所述导向管靠近第二端的管壁上开设有用于将导向管第二端与外部管路对接的扣孔。

4.根据权利要求1所述的半导体制作设备电磁加热盘专用焊接波纹管，其特征在于：所述第一连接端盘和第二连接端盘朝向导向管第二端的端面上均设有螺纹孔。

5.根据权利要求4所述的半导体制作设备电磁加热盘专用焊接波纹管，其特征在于：所述第二连接端盘的直径大于第一连接端盘的直径。

6.根据权利要求4所述的半导体制作设备电磁加热盘专用焊接波纹管，其特征在于：所述第一连接端盘的外环面上开设有环形的预留槽。