[实用新型]半导体制作设备电磁加热盘专用焊接波纹管

说明书

本实用新型涉及半导体制作设备领域，半导体制作设备电磁加热盘专用焊接波纹管，其中第一连接端盘和第二连接端盘轴心处均具有安装孔，第一连接端盘通过安装孔套装在导向管外环面，且第一连接端盘与导向管间隙配合，第二连接端盘通过安装孔固定的安装在导向管第一端部，且导向管轴心与第二连接端盘主延展面相互垂直，波纹管段位于套装在导向管外部且位于第一连接端盘和第二连接端盘之间，波纹管两端分别固定连接第一连接端盘和第二连接端盘的端面，且在自由状态下导向管和波纹管段同轴心设置。本波纹管具有高温环境下使用寿命长、耐腐蚀、动作导向性好的特点，方便波纹管安装对接。

技术领域

本实用新型涉及半导体制作设备领域，特别是半导体制作设备专用的焊接波纹管。

背景技术

半导体制作设备电磁加热盘专用焊接波纹管，是安装在电磁加热盘上方的焊接波纹管，为半导体制作设备在超高温度的条件下提供运动补偿和超高真空密封的工作要求。由于电磁加热盘的使用温度高于500摄氏度，与专用波纹管相连接的半导体制作设备的部分是运动部件，半导体制作设备因工艺制程的特殊工作条件，对运动部件的运动次数有着极高的要求。

现有技术方案因半导体制作设备频繁动作，波纹管的使用寿命较低，因其工作环境温度超过500℃，波纹管段过度劳损。另外，在一些特殊的工况下，可能会有腐蚀性的气体接触到波纹管，更会加速其老化。

实用新型内容

为解决上述问题，本实用新型提出的半导体制作设备电磁加热盘专用焊接波纹管，其具有高温环境下使用寿命长、耐腐蚀、动作导向性好的特点，方便波纹管安装对接。

为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是：

半导体制作设备电磁加热盘专用焊接波纹管，包括导向管、第一连接端盘、第二连接端盘、以及由合金材料制成的波纹管段，其中第一连接端盘和第二连接端盘轴心处均具有安装孔，所述第一连接端盘通过安装孔套装在导向管外环面，且第一连接端盘与导向管间隙配合，所述第二连接端盘通过安装孔固定的安装在导向管第一端部，且导向管轴心与第二连接端盘主延展面相互垂直，所述波纹管段位于套装在导向管外部且位于第一连接端盘和第二连接端盘之间，所述波纹管两端分别固定连接第一连接端盘和第二连接端盘的端面，且在自由状态下导向管和波纹管段同轴心设置。

作为优选的，所述导向管靠近第二端的外环面上设有至少一组对接环槽。

作为优选的，所述导向管靠近第二端的管壁上开设有用于将导向管第二端与外部管路对接的扣孔。

作为优选的，所述第一连接端盘和第二连接端盘朝向导向管第二端的端面上均设有螺纹孔。

作为优选的，所述第二连接端盘的直径大于第一连接端盘的直径。

作为优选的，所述第一连接端盘的外环面上开设有环形的预留槽。

本实用新型的有益效果是：

本装置通过合金材质的波纹管段，既能够耐得住高温环境，同样也能耐得住强腐蚀的工作环境，为半导体制作设备提供长期稳定的基础工作保障。本波纹管通过导线管的设置，以及第一连接端盘和第二连接端盘与导向管的配合，使得波纹管段的伸缩方向为导向管轴向伸缩方向，其运动方向和波纹管波段叠层方向相同，有效的增长波纹管的使用寿面，使其寿命超过100万次。本装置优化导向管自由端部的外环连接结构，方便其与半导体制作设备的运动部件连接。本波纹管在其可运动的第一连接端盘外环面上设置预留槽，在实际使用中，方便其加装防护扣具。

附图说明

图1为本实用新型半导体制作设备电磁加热盘专用焊接波纹管轴向结构示意图。

图2为本实用新型半导体制作设备电磁加热盘专用焊接波纹管剖视图。

附图标记包括：