[实用新型]一种用于质谱仪的离子源装置

权利要求书

1.一种用于质谱仪的离子源装置，其特征在于：包括壳体(1)，所述壳体(1)左侧螺纹连接有推斥极(2)，所述推斥极(2)中部设有分子漏入管(4)，所述壳体(1)后端设置有真空连接管(5)，所述真空连接管(5)在壳体(1)外侧设置有单向阀(6)，所述壳体(1)下端左侧内部靠近分子漏入管(4)一侧连接有加热器(7)，所述壳体(1)上端左侧连接有灯丝支架(8)，两灯丝支架(8)之间安装有灯丝(9)，所述灯丝支架(8)在灯丝(9)外侧安装有灯丝辐射屏蔽板(10)，所述灯丝辐射屏蔽板(10)下端设有通孔(1001)，所述壳体(1)内壁下端相对于灯丝(9)设置有阳极板(11)，所述壳体(1)内壁在阳极板(11)右侧从左向右依次设置有三组上下对称设置的第一加速极(12)、聚焦极(14)和第二加速极(16)，所述壳体(1)右端设置有连接嘴(18)。

2.根据权利要求1所述的一种用于质谱仪的离子源装置，其特征在于：所述壳体(1)左端套有密封垫圈(3)，所述密封垫圈(3)设置在壳体(1)左侧与推斥极(2)右侧之间。

3.根据权利要求1所述的一种用于质谱仪的离子源装置，其特征在于：所述加热器(7)电性连接有电源。

4.根据权利要求1所述的一种用于质谱仪的离子源装置，其特征在于：所述灯丝(9)电性连接有电源，所述灯丝辐射屏蔽板(10)包覆设置在灯丝(9)外侧，所述灯丝辐射屏蔽板(10)下端设有的通孔(1001)正对着阳极板(11)。

5.根据权利要求1所述的一种用于质谱仪的离子源装置，其特征在于：所述第一加速极(12)、聚焦极(14)和第二加速极(16)均为半圆扇形，且上下同侧设置的两组第一加速极(12)、聚焦极(14)和第二加速极(16)之间分别构成第一加速狭缝、聚焦狭缝和第二加速狭缝，所述第一加速极(12)、聚焦极(14)和第二加速极(16)贴合壳体(1)内壁的一侧分别连接有第一支架(13)、第二支架(15)和第三支架(17)。

6.根据权利要求5所述的一种用于质谱仪的离子源装置，其特征在于：所述第一支架(13)、第二支架(15)和第三支架(17)分别贯穿并固定连接壳体(1)。

7.根据权利要求5所述的一种用于质谱仪的离子源装置，其特征在于：所述推斥极(2)、阳极板(11)、第一加速极(12)、聚焦极(14)和第二加速极(16)分别电性连接有电源。