[实用新型]一种用于质谱仪的离子源装置

说明书

本实用新型涉及检测设备技术领域，具体涉及一种用于质谱仪的离子源装置，包括壳体，所述壳体左侧螺纹连接有推斥极，所述推斥极中部设有分子漏入管，所述壳体后端设置有真空连接管，所述真空连接管在壳体外侧设置有单向阀，所述壳体下端左侧内部靠近分子漏入管一侧连接有加热器，所述壳体上端左侧连接有灯丝支架，两灯丝支架之间安装有灯丝，所述灯丝支架在灯丝外侧安装有灯丝辐射屏蔽板，所述灯丝辐射屏蔽板下端设有通孔，所述壳体内壁下端相对于灯丝设置有阳极板，本实用新型提供了一种能够很好的隔绝灯丝热辐射且具有加热离子功能的离子源装置。

技术领域

本实用新型涉及检测设备技术领域，具体涉及一种用于质谱仪的离子源装置。

背景技术

离子源(英文名称：Ionsource)是使中性原子或分子电离，并从中引出离子束流的装置。它是各种类型的离子加速器、质谱仪、电磁同位素分离器、离子注入机、离子束刻蚀装置、离子推进器以及受控聚变装置中的中性束注入器等设备的不可缺少的部件，气体放电、电子束对气体原子(或分子)的碰撞，带电粒子束使工作物质溅射以及表面电离过程都能产生离子，并被引出成束。根据不同的使用条件和用途，已研制出多种类型的离子源。使用较广泛的有弧放电离子源、PIG离子源、双等离子体离子源和双彭源这些源都是以气体放电过程为基础的,常被笼统地称为弧源。高频离子源则是由气体中的高频放电来产生离子的，也有广泛的用途。新型重离子源的出现，使重离子的电荷态显著提高,其中较成熟的有电子回旋共振离子源(ECR)和电子束离子源(EBIS)。负离子源性能较好的有转荷型和溅射型两种。在一定条件下，基于气体放电过程的各种离子源，都能提供一定的负离子束流。

现有技术中的用于质谱仪的离子源装置没有很好的隔绝灯丝热辐射的功能，靠近灯丝的位置，离子源温度高于设定温度，使整个离子源内部的温度不均衡，从而影响离子源内部电场，同时现有离子源装置中都没有很好的加热功能，不能够加速分子运动，不利于形成负离子束流。

针对上述问题，本实用新型设计了一种用于质谱仪的离子源装置。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种用于质谱仪的离子源装置。尽最大可能解决上述问题，从而提供了一种能够很好的隔绝灯丝热辐射且具有加热离子功能的离子源装置。

本实用新型通过以下技术方案予以实现：

一种用于质谱仪的离子源装置，包括壳体，所述壳体左侧螺纹连接有推斥极，所述推斥极中部设有分子漏入管，所述壳体后端设置有真空连接管，所述真空连接管在壳体外侧设置有单向阀，所述壳体下端左侧内部靠近分子漏入管一侧连接有加热器，所述壳体上端左侧连接有灯丝支架，两灯丝支架之间安装有灯丝，所述灯丝支架在灯丝外侧安装有灯丝辐射屏蔽板，所述灯丝辐射屏蔽板下端设有通孔，所述壳体内壁下端相对于灯丝设置有阳极板，所述壳体内壁在阳极板右侧从左向右依次设置有三组上下对称设置的第一加速极、聚焦极和第二加速极，所述壳体右端设置有连接嘴。

优选的，所述壳体左端套有密封垫圈，所述密封垫圈设置在壳体左侧与推斥极右侧之间。

优选的，所述加热器电性连接有电源。

优选的，所述灯丝电性连接有电源，所述灯丝辐射屏蔽板包覆设置在灯丝外侧，所述灯丝辐射屏蔽板下端设有的通孔正对着阳极板。

优选的，所述第一加速极、聚焦极和第二加速极均为半圆扇形，且上下同侧设置的两组第一加速极、聚焦极和第二加速极之间分别构成第一加速狭缝、聚焦狭缝和第二加速狭缝，所述第一加速极、聚焦极和第二加速极贴合壳体内壁的一侧分别连接有第一支架、第二支架和第三支架。

优选的，所述第一支架、第二支架和第三支架分别贯穿并固定连接壳体。

优选的，所述推斥极、阳极板、第一加速极、聚焦极和第二加速极分别电性连接有电源。