[实用新型]一种单晶炉

权利要求书

1.一种单晶炉，其特征在于，包括：炉体、换热器、循环泵、第一阀门和管道；

所述换热器通过所述管道与所述炉体连接，所述循环泵和所述第一阀门设置在所述管道上，以在所述第一阀门开启时，通过所述循环泵使所述炉体内的气体通过所述管道在所述换热器和所述炉体之间循环，通过所述换热器对所述气体进行冷却，以降低所述炉体内的温度。

2.根据权利要求1所述的单晶炉，其特征在于，所述炉体包括主室和副室；

所述换热器的第一接口与所述主室连接，所述换热器的第二接口与所述副室连接；或者，

所述第一接口和所述第二接口均与所述主室连接。

3.根据权利要求2所述的单晶炉，其特征在于，还包括第一快充阀，所述第一快充阀的一端连接所述主室，另一端连接惰性气体源，所述第一快充阀用于向所述主室内充入惰性气体。

4.一种单晶炉，其特征在于，包括：炉体、主泵，换热器、第一管道、第二管道和第二阀门；

所述换热器的第一接口通过所述第一管道与所述主泵的出口连接，所述换热器的第二接口通过所述第二管道与所述炉体连接；所述第二阀门设置在所述第一管道上或所述第二管道上；所述主泵在所述第二阀门开启时，使所述炉体内的气体通过所述第一管道进入所述换热器，以通过所述换热器对所述气体进行冷却，并使冷却后的气体通过所述第二管道进入所述炉体，以降低所述炉体内的温度。

5.根据权利要求4所述的单晶炉，其特征在于，还包括四通接头，所述第一管道、所述单晶炉的气体回收阀、所述单晶炉的排气阀分别通过所述四通接头与所述主泵的出口连接。

6.根据权利要求4所述的单晶炉，其特征在于，所述炉体包括主室，所述换热器通过所述第二管道与所述主室连接。

7.根据权利要求6所述的单晶炉，其特征在于，还包括第二快充阀，所述第二快充阀的一端连接所述主室，另一端连接惰性气体源，所述第二快充阀用于向所述主室内充入惰性气体。

8.根据权利要求4所述的单晶炉，其特征在于，还包括副室、副泵和三通接头，所述副泵和所述第二管道分别通过所述三通接头与所述副室连接。

9.根据权利要求1-8任一项所述的单晶炉，其特征在于，所述换热器为板式换热器。