[实用新型]一种单晶炉

说明书

本实用新型提供了一种单晶炉，涉及太阳能光伏技术领域，在单晶炉的外部设置换热器和循环泵，通过管道连接炉体和换热器，在需要拆解单晶炉时，通过循环泵使炉体内的气体在炉体和换热器之间循环冷却，快速的降低炉体内的温度，可以缩短炉体的冷却时间，使单晶炉快速进入拆解工序，拆解完成后快速的进入下次生产工序，节省了时间，提高了生产效率。

技术领域

本实用新型涉及太阳能光伏技术领域，特别是涉及一种单晶炉。

背景技术

目前，主要采用单晶炉，通过直拉法生产单晶硅。单晶炉包括主室和副室，主室内设置有加热器、埚帮和坩埚等器件。在生产过程中，通过加热器进行加热、维持单晶炉内的温度在1400度左右，同时维持单晶炉内的真空度在10托左右，在高温、高真空度的条件下，生产单晶硅棒。在生产单晶硅棒的不同炉次间，经常需要停止加热，对单晶炉进行拆解。由于单晶炉内的电极和埚帮等由石墨材料制成的器件，在高温条件下容易氧化。因此，在单晶炉内的温度较高时，需要维持单晶炉内的真空条件不变，防止空气进入单晶炉，避免单晶炉内的电极和埚帮等器件在高温条件下氧化，待单晶炉自然冷却、温度降低后，开始拆解单晶炉。

由于在生产过程中，单晶炉内的温度较高，因此单晶炉需要较长的时间才能自然冷却，达到拆解要求，进入拆解工序。而较长的冷却时间，导致单晶炉无法快速完成拆解、进入下次生产工序，浪费了大量时间，降低了生产效率。

实用新型内容

本实用新型提供一种单晶炉，旨在解决单晶炉拆炉过程中，单晶炉的冷却时间较长的问题。

第一方面，本实用新型实施例提供了一种单晶炉，包括：炉体、换热器、循环泵、第一阀门和管道；

所述换热器通过所述管道与所述炉体连接，所述循环泵和所述第一阀门设置在所述管道上，以在所述第一阀门开启时，通过所述循环泵和所述管道使所述炉体内的气体在所述换热器和所述炉体之间循环，通过所述换热器对所述气体进行冷却，以降低所述炉体内的温度。

可选的，所述炉体包括主室和副室；

所述换热器的第一接口与所述主室连接，所述换热器的第二接口与所述副室连接；或者，

所述第一接口和所述第二接口均与所述主室连接。

可选的，还包括第一快充阀，所述第一快充阀的一端连接所述主室，另一端连接惰性气体源，所述第一快充阀用于向所述主室内充入惰性气体。

第二方面，本实用新型实施例提供了另一种单晶炉，包括：炉体、主泵，换热器、第一管道、第二管道和第二阀门；

所述换热器的第一接口通过所述第一管道与所述主泵的出口连接，所述换热器的第二接口通过所述第二管道与所述炉体连接；所述第二阀门设置在所述第一管道上或所述第二管道上；所述主泵在所述第二阀门开启时，使所述炉体内的气体通过所述第一管道进入所述换热器，以通过所述换热器对所述气体进行冷却，并使冷却后的气体通过所述第二管道进入所述炉体，以降低所述炉体内的温度。

可选的，还包括四通接头，所述第一管道、所述单晶炉的气体回收阀、所述单晶炉的排气阀分别通过所述四通接头与所述主泵的出口连接。

可选的，所述炉体包括主室，所述换热器通过所述第二管道与所述主室连接。

可选的，还包括第二快充阀，所述第二快充阀的一端连接所述主室，另一端连接惰性气体源，所述第二快充阀用于向所述主室内充入惰性气体。

可选的，还包括副室、副泵和三通接头，所述副泵和所述第二管道分别通过所述三通接头与所述副室连接。

可选的，所述换热器为板式换热器。