[实用新型]多功能纳米真空蒸发源

权利要求书

1.一种多功能纳米真空蒸发源，包括坩埚和加热单元，其特征在于，所述加热单元包括套设于所述坩埚外侧面的加热套体，所述加热套体在靠近所述坩埚一侧的侧壁为加热套体内壁，所述加热套体的远离所述加热套体内壁的侧壁为加热套体外壁，在所述加热套体内壁与所述加热套体外壁之间具有加热套体空腔，在所述加热套体内壁的外表面设置有多个向所述加热套体的中轴线凹陷的容纳槽，在每个所述容纳槽内分别设置有至少一个加热元件，所述坩埚为热解氮化硼材质的坩埚。

2.根据权利要求1所述的多功能纳米真空蒸发源，其特征在于，在所述加热套体的外部还设置有冷却套体，在所述冷却套体内设置有供冷媒流动的空腔，所述冷却套体的上端设置有冷媒入口，在所述冷却套体的下端设置有冷媒出口，在所述冷媒入口与所述冷媒出口分别通过管路外接于冷媒储存装置。

3.根据权利要求2所述的多功能纳米真空蒸发源，其特征在于，在所述加热套体内壁与所述加热套体外壁之间还设置有至少一个导热的金属块，所述金属块沿着所述坩埚的高度方向设置，所述金属块分别与所述加热套体内壁和所述加热套体外壁相抵触。

4.根据权利要求3所述的多功能纳米真空蒸发源，其特征在于，还包括能与每个所述加热元件相抵触的限位块，所述限位块沿着所述加热元件的长度方向设置。

5.根据权利要求4所述的多功能纳米真空蒸发源，其特征在于，在每个所述限位块上设置有至少一根限位弹簧，所述限位弹簧的一端与所述限位块固定，另一端与所述加热套体外壁的内侧面固定，在所述限位弹簧处于放松状态时，所述限位块与所述加热元件相抵靠。

6.根据权利要求5所述的多功能纳米真空蒸发源，其特征在于，在所述限位块的靠近所述加热元件一侧设置有与所述加热元件的形状相匹配的限位槽。

7.根据权利要求1所述的多功能纳米真空蒸发源，其特征在于，还包括与所述加热套体的下端连接的连接板，在所述连接板上与各个所述加热元件相对应的设置有通孔，在所述通孔处设置有与所述加热元件相连通的接口，所述接口与电源连通。

8.根据权利要求1所述的多功能纳米真空蒸发源，其特征在于，还包括热电偶测温器，所述热电偶测温器的温度感应部位位于所述坩埚的内侧壁。

9.根据权利要求8所述的多功能纳米真空蒸发源，其特征在于，在所述热电偶测温器的外部还设置有金属材质的隔离套，所述电偶测温器的测温部位与所述隔离套相抵触。