[实用新型]一种真空二维位移平台有效

专利信息
申请号: 202020216198.8 申请日: 2020-02-26
公开(公告)号: CN211681989U 公开(公告)日: 2020-10-16
发明(设计)人: 邵玮;陆伟华 申请(专利权)人: 南通纳瑞纳米科技有限公司
主分类号: B25H1/14 分类号: B25H1/14
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 226000 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 真空 二维 位移 平台
【权利要求书】:

1.一种真空二维位移平台,包括下法兰(1)、Y向活动块(6)和Y方向调节丝杆(20),其特征在于:所述下法兰(1)的内表面焊接有波纹管(2),且波纹管(2)的另一端焊接有X方向活动块(8),所述下法兰(1)的上端面安装有Y向固定法兰(3),且Y向固定法兰(3)的上端面固定有连接块(4),所述连接块(4)的上端面固定有Y向固定块(5),所述Y向固定块(5)的内壁安装有交叉滚子导轨一(16),所述Y向活动块(6)安装于交叉滚子导轨一(16)的内侧,且Y向活动块(6)的侧表面固定有Y方向螺母座(17),所述Y方向螺母座(17)的内侧安装有Y方向螺母一(18),且Y方向螺母座(17)的上方设置有Y方向轴承(19),所述Y方向调节丝杆(20)安装于Y方向轴承(19)的内侧,所述Y向固定块(5)的侧表面固定有Y方向轴承座(22),所述Y向固定块(5)的右上方安装有X方向轴承座(15),且X方向轴承座(15)的内侧贴合有X方向螺母二(13),所述X方向螺母二(13)的内部套接有X方向调节丝杆(11),且X方向调节丝杆(11)的左端面安装有X方向螺母一(10),所述X方向螺母一(10)的侧表面固定有X方向螺母座(9)。

2.根据权利要求1所述的一种真空二维位移平台,其特征在于:所述Y向活动块(6)的上方套接固定有X方向固定块(7),且X方向活动块(8)采用为加强法兰结构。

3.根据权利要求1所述的一种真空二维位移平台,其特征在于:所述下法兰(1)与Y向固定法兰(3)之间的连接方式为固定连接,且Y向固定法兰(3)和下法兰(1)与Y向固定块(5)的外形结构为均为环状结构。

4.根据权利要求1所述的一种真空二维位移平台,其特征在于:所述X方向螺母二(13)的左端面贴合有X方向轴承(12),且X方向调节丝杆(11)右端口的外表面固定有X方向手轮(14)。

5.根据权利要求1所述的一种真空二维位移平台,其特征在于:所述Y方向调节丝杆(20)上端口的侧表面固定有Y方向调节手轮(21),且X方向调节丝杆(11)的下方贴合有Y方向螺母二(23)。

6.根据权利要求1所述的一种真空二维位移平台,其特征在于:所述Y方向轴承(19)的下底面贴合有Y方向卡簧(25),且Y方向轴承座(22)的外表面贯穿有交叉滚子导轨二(24),所述Y方向卡簧(25)与Y方向轴承座(22)之间的连接方式为固定连接。

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