[实用新型]一种真空二维位移平台

说明书

本实用新型公开了一种真空二维位移平台，包括下法兰、Y向活动块和Y方向调节丝杆，所述下法兰的内表面焊接有波纹管，且波纹管的另一端焊接有X方向活动块，所述下法兰的上端面安装有Y向固定法兰，且Y向固定法兰的上端面固定有连接块，所述Y方向调节丝杆安装于Y方向轴承的内侧，所述Y向固定块的侧表面固定有Y方向轴承座，所述Y向固定块的右上方安装有X方向轴承座，且X方向轴承座的内侧贴合有X方向螺母，所述X方向螺母的内部套接有X方向调节丝杆。该真空二维位移平台的主要特点是将真空腔室外部的X、Y方向位移运动传递到真空腔室内部，使得操作人员在外部可以方便地调节真空腔体内部功能部件的位置以达到最佳使用条件。

技术领域

本实用新型涉及真空操作平台技术领域，具体为一种真空二维位移平台。

背景技术

随着社会与科学的发展进步，真空技术被应用在社会上的各行各业，对于真空系统中经常会遇到多个部件安装后需要较高的同轴对中等要求，针对无法避免的焊接和装配带来的尺寸误差，各种微调真空平台应运而生。

目前，在两个相对有位移需求的真空部件中，需要保持真空状态下调节腔体内的功能部件至最佳使用位置，对于操作人员来说操作难度系数较大，为此，我们提出一种真空二维位移平台。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种真空二维位移平台，以解决上述背景技术中提到的在两个相对有位移需求的真空部件中，需要保持真空状态下调节腔体内的功能部件至最佳使用位置，对于操作人员来说操作难度系数较大的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种真空二维位移平台，包括下法兰、Y向活动块和Y方向调节丝杆，所述下法兰的内表面焊接有波纹管，且波纹管的另一端焊接有X方向活动块，所述下法兰的上端面安装有Y向固定法兰，且Y向固定法兰的上端面固定有连接块，所述连接块的上端面固定有Y向固定块，所述Y向固定块的内壁安装有交叉滚子导轨，所述Y向活动块安装于交叉滚子导轨的内侧，且Y向活动块的侧表面固定有Y方向螺母座，所述Y方向螺母座的内侧安装有Y方向螺母一，且Y方向螺母座的上方设置有Y方向轴承，所述Y方向调节丝杆安装于Y方向轴承的内侧，所述Y向固定块的侧表面固定有Y方向轴承座，所述Y向固定块的右上方安装有X方向轴承座，且X方向轴承座的内侧贴合有X方向螺母，所述X方向螺母的内部套接有X方向调节丝杆，且X方向调节丝杆的左端面安装有X方向螺母，所述X方向螺母的侧表面固定有X方向螺母座。

优选的，所述Y向活动块的上方套接固定有X方向固定块，且X方向活动块采用为加强法兰结构。

优选的，所述下法兰与Y向固定法兰之间的连接方式为固定连接，且Y向固定法兰和下法兰与Y向固定块的外形结构为均为环状结构。

优选的，所述X方向螺母二的左端面贴合有X方向轴承，且X方向调节丝杆右端口的外表面固定有X方向手轮。

优选的，所述Y方向调节丝杆上端口的侧表面固定有Y方向调节手轮，且X方向调节丝杆的下方贴合有Y方向螺母二。

优选的，所述Y方向轴承的下底面贴合有Y方向卡簧，且Y方向轴承座的外表面贯穿有交叉滚子导轨二，所述Y方向卡簧与Y方向轴承座之间的连接方式为固定连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1.该装置整体采用密封结构，具有极强的密封效果，进而可以在避免在人员操作时影响真空部件内部的真空效果，保障了操作质量，同时结构较为简单，生产成本较低，适用于两组真空部件的连接；

2.该装置通过金属波纹管的焊接结构，使得内部通道保持密封结构，使得操作人员在外部可以方便地调节真空腔体内部功能部件的位置以达到最佳使用条件，极大的降低了操作人员的操作难度。