[实用新型]一种实现移动稳定性的机械手臂驱动装置有效

专利信息
申请号: 202020221212.3 申请日: 2020-02-27
公开(公告)号: CN211806140U 公开(公告)日: 2020-10-30
发明(设计)人: 邓信甫;庄海云;蔡嘉雄;陈佳炜;王雪松 申请(专利权)人: 至微半导体(上海)有限公司;江苏启微半导体设备有限公司
主分类号: B25J9/00 分类号: B25J9/00;B25J9/12;B25J9/10;B25J19/00;H01L21/677
代理公司: 北京沁优知识产权代理有限公司 11684 代理人: 蔡岩岩
地址: 200000 上海市*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 实现 移动 稳定性 机械 手臂 驱动 装置
【权利要求书】:

1.一种实现移动稳定性的机械手臂驱动装置,包括固定板(1)、用于连接机械手臂的连接件(2)、用于驱动所述连接件(2)沿着水平方向移动的水平驱动模块(3)、用于驱动所述连接件(2)沿着竖直方向移动的竖直驱动模块(4),其特征在于:

所述固定板(1)的一侧沿着水平方向设置有第一滑轨(11)和第二滑轨(12),所述水平驱动模块(3)包括滑动板(31),所述滑动板(31)通过第一滑块(311)和第二滑块(312)与所述第一滑轨(11)滑动连接,所述滑动板(31)通过第三滑块(313)和第四滑块(314)与所述第二滑轨(12)滑动连接;

所述固定板(1)沿着水平方向设置有齿条(13),所述齿条(13)设置于所述第一滑轨(11)和所述第二滑轨(12)之间;所述滑动板(31)上设置有与所述齿条(13)相匹配的齿轮(32),以及用于驱动所述齿轮(32)旋转的驱动电机(33);

所述滑动板(31)远离所述固定板(1)的一侧沿着竖直方向设置有第三滑轨(34)和第四滑轨(35);

所述竖直驱动模块(4)包括沿着竖直方向设置的直线推杆(41),所述直线推杆(41)通过螺栓与所述滑动板(31)相固定,且设置于所述第三滑轨(34)和所述第四滑轨(35)之间,所述直线推杆(41)的外套(411)与滑动件(42)相固定,所述滑动件(42)通过第五滑块(421)和第六滑块(422)与所述第三滑轨(34)滑动连接,所述滑动件(42)通过第七滑块(423)和第八滑块(424)与所述第四滑轨(35)滑动连接,所述外套(411)与所述连接件(2)相固定;

所述固定板(1)上开设有若干个用于固定的连接孔(14),所述连接孔(14)包括与所述固定板(1)垂直设置的通孔(141),以及设置于通孔(141)两侧的第一螺孔(142)和第二螺孔(143),所述通孔(141)包括远离所述水平驱动模块(3)的螺纹部(1411)和靠近所述水平驱动模块(3)的圆柱部(1412),所述圆柱部(1412)的孔径大于所述螺纹部(1411)的孔径,所述第一螺孔(142)和所述第二螺孔(143)关于所述通孔(141)的轴线对称。

2.根据权利要求1所述的一种实现移动稳定性的机械手臂驱动装置,其特征在于:所述第一滑轨(11)和所述第二滑轨(12)为工字型滑轨,且分别通过螺栓与所述固定板(1)相固定;

所述第一滑块(311)、所述第二滑块(312)、所述第三滑块(313)和所述第四滑块(314)为C字型滑块,且分别通过螺栓与所述滑动板(31)相固定。

3.根据权利要求1所述的一种实现移动稳定性的机械手臂驱动装置,其特征在于:所述第三滑轨(34)和所述第四滑轨(35)为工字型滑轨,且分别通过螺栓与所述滑动板(31)相固定;

所述第五滑块(421)、所述第六滑块(422)、所述第七滑块(423)和所述第八滑块(424)为C字型滑块,且分别通过螺栓与所述滑动板(31)相固定。

4.根据权利要求1所述的一种实现移动稳定性的机械手臂驱动装置,其特征在于:所述直线推杆(41)与所述第三滑轨(34)之间的距离等于所述直线推杆(41)与所述第四滑轨(35)之间的距离。

5.根据权利要求1所述的一种实现移动稳定性的机械手臂驱动装置,其特征在于:所述第一滑轨(11)与所述齿条(13)之间的距离小于所述第二滑轨(12)与所述齿条(13)之间的距离。

6.根据权利要求1所述的一种实现移动稳定性的机械手臂驱动装置,其特征在于:所述固定板(1)上开设有若干供电缆经过的电缆孔,所述电缆孔设置于所述第一滑轨(11)和所述齿条(13)之间。

7.根据权利要求6所述的一种实现移动稳定性的机械手臂驱动装置,其特征在于:所述固定板(1)上沿着水平方向设置有若干用于检测滑动板(31)位置的光电检测器(16),所述光电检测器(16)设置于所述齿条(13)和所述第二滑轨(12)之间,所述滑动板(31)靠近所述固定板(1)的一侧设置有与所述光电检测器(16)相匹配的遮光片(315)。

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