[实用新型]一种实现移动稳定性的机械手臂驱动装置

说明书

本实用新型提供了一种实现移动稳定性的机械手臂驱动装置，包括固定板、用于连接机械手臂的连接件、用于驱动所述连接件沿着水平方向移动的水平驱动模块、用于驱动所述连接件沿着竖直方向移动的竖直驱动模块，本实用新型的有益效果是：滑动板通过第一滑轨和第二滑轨与固定板滑动连接，直线推杆的外套通过第三滑轨和第四滑轨与滑动板滑动连接，减少装置在工作过程中发生的位置偏移，提高装置的工作精度；通孔包括螺纹部和半径较大的圆柱部，增加螺栓的接触面积，通孔的两侧设置第一螺孔和第二螺孔以分散通孔受到的应力，提高通孔的强度，避免装置工作过程中固定板相对外部支架发生旋动；设置光电检测器，便于用户实时监控机械手臂的工作位置。

技术领域

本实用新型涉及圆晶移动装置领域，特别涉及一种实现移动稳定性的机械手臂驱动装置。

背景技术

圆晶晶片在生产的过程中，需要经过切割、抛光、镀膜等多个步骤，每个步骤结束后均需要对源晶晶片进行转移、清洗等操作，因此需要机械手臂对装有多个圆晶的圆晶盒进行转移。现有技术中，机械手臂采用的支撑和驱动装置具有移动精度不高，使用过程中容易发生位置偏移的技术问题。

实用新型内容

为了解决上述技术问题，本实用新型中披露了一种实现移动稳定性的机械手臂驱动装置，用于解决现有技术中，圆晶盒移动用机械手臂的支撑及驱动装置移动精度差，容易发生位置偏移的技术问题，本实用新型的技术方案是这样实施的：

一种实现移动稳定性的机械手臂驱动装置，包括固定板、用于连接机械手臂的连接件、用于驱动所述连接件沿着水平方向移动的水平驱动模块、用于驱动所述连接件沿着竖直方向移动的竖直驱动模块，所述固定板的一侧沿着水平方向设置有第一滑轨和第二滑轨，所述水平驱动模块包括滑动板，所述滑动板通过第一滑块和第二滑块与所述第一滑轨滑动连接，所述滑动板通过第三滑块和第四滑块与所述第二滑轨滑动连接；所述固定板沿着水平方向设置有齿条，所述齿条设置于所述第一滑轨和所述第二滑轨之间；所述滑动板上设置有与所述齿条相匹配的齿轮，以及用于驱动所述齿轮旋转的驱动电机；所述滑动板远离所述固定板的一侧沿着竖直方向设置有第三滑轨和第四滑轨；所述竖直驱动模块包括沿着竖直方向设置的直线推杆，所述直线推杆通过螺栓与所述滑动板相固定，且设置于所述第三滑轨和所述第四滑轨之间，所述直线推杆的外套与滑动件相固定，所述滑动件通过第五滑块和第六滑块与所述第三滑轨滑动连接，所述滑动件通过第七滑块和第八滑块与所述第四滑轨滑动连接，所述外套与所述连接件相固定；所述固定板上开设有若干个用于固定的连接孔，所述连接孔包括与所述固定板垂直设置的通孔，以及设置于通孔两侧的第一螺孔和第二螺孔，所述通孔包括远离所述水平驱动模块的螺纹部和靠近所述水平驱动模块的圆柱部，所述圆柱部的孔径大于所述螺纹部的孔径，所述第一螺孔和所述第二螺孔关于所述通孔的轴线对称。

优选地，所述第一滑轨和所述第二滑轨为工字型滑轨，且分别通过螺栓与所述固定板相固定；所述第一滑块、所述第二滑块、所述第三滑块和所述第四滑块为C字型滑块，且分别通过螺栓与所述滑动板相固定。

优选地，所述第三滑轨和所述第四滑轨为工字型滑轨，且分别通过螺栓与所述滑动板相固定；所述第五滑块、所述第六滑块、所述第七滑块和所述第八滑块为C字型滑块，且分别通过螺栓与所述滑动板相固定。

优选地，所述直线推杆与所述第三滑轨之间的距离等于所述直线推杆与所述第四滑轨之间的距离。

优选地，所述第一滑轨与所述齿条之间的距离小于所述第二滑轨与所述齿条之间的距离。

优选地，所述固定板上开设有若干供电缆经过的电缆孔，所述电缆孔设置于所述第一滑轨和所述齿条之间。

优选地，所述固定板上沿着水平方向设置有若干用于检测滑动板位置的光电检测器，所述光电检测器设置于所述齿条和所述第二滑轨之间，所述滑动板靠近所述固定板的一侧设置有与所述光电检测器相匹配的遮光片。

优选地，所述第一滑轨与所述齿条之间及所述齿条和所述第二滑轨之间分别设置有若干所述连接孔。