[实用新型]一种高稳定性的夹持装置有效

专利信息
申请号: 202020221224.6 申请日: 2020-02-27
公开(公告)号: CN211480004U 公开(公告)日: 2020-09-11
发明(设计)人: 邓信甫;蔡嘉雄;王雪松;徐铭;陈佳炜 申请(专利权)人: 至微半导体(上海)有限公司;江苏启微半导体设备有限公司
主分类号: H01L21/687 分类号: H01L21/687
代理公司: 北京沁优知识产权代理有限公司 11684 代理人: 蔡岩岩
地址: 200000 上海市*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 稳定性 夹持 装置
【权利要求书】:

1.一种高稳定性的夹持装置,包括第一夹具(1)、第二夹具(2)、用于驱动所述第一夹具(1)和所述第二夹具(2)相互夹紧或放松的转动传动机构以及气缸驱动装置(61),其特征在于:

所述转动传动机构包括第一支撑杆(3)和第二支撑杆(4),所述第一支撑杆(3)和所述第二支撑杆(4)平行设置,所述第一支撑杆(3)包括第一导向轴(31),所述第二支撑杆(4)包括第二导向轴(41),所述第一导向轴(31)和所述第二导向轴(41)分别通过轴承与支架(5)相连接,所述第一支撑杆(3)和所述第二支撑杆(4)的延伸方向为第一方向;所述支架(5)上设置有滑移板(6),所述气缸驱动装置(61)用于驱动所述滑移板(6)沿着所述第一方向移动,所述滑移板(6)包括形状为等腰梯形的梯形部(64),所述梯形部(64)包括第一侧斜面(62)和第二侧斜面(63);

所述支架(5)设置有用于驱动所述第一导向轴(31)旋转的第一夹持件(32),所述第一夹持件(32)远离所述第一导向轴(31)的一端设置有第一导向轮(33),所述第一导向轮(33)用于接触第一侧斜面(62);

所述支架(5)设置有用于驱动所述第二导向轴(41)旋转的第二夹持件(42),所述第二夹持件(42)远离所述第二导向轴(41)的一端设置有第二导向轮(43),所述第一导向轮(33)用于接触第二侧斜面(63);

所述第一夹持件(32)和所述第二夹持件(42)通过硬质弹簧(7)相连接,所述硬质弹簧(7)的一端与所述第一夹持件(32)远离所述第一导向轴(31)的一端相固定,所述硬质弹簧(7)的另一端与所述第二夹持件(42)远离所述第二导向轴(41)的一端相固定;

所述硬质弹簧(7)用于驱动所述第一导向轮(33)和所述第二导向轮(43)分别压紧所述第一侧斜面(62)和所述第二侧斜面(63)。

2.根据权利要求1所述的一种高稳定性的夹持装置,其特征在于:所述支架(5)设置有用于对所述滑移板(6)进行限位的限位块(51)。

3.根据权利要求1所述的一种高稳定性的夹持装置,其特征在于:所述第一夹持件(32)远离所述第一导向轮(33)的一端设置有第一遮光片(34),所述支架(5)上相应地设置有与所述第一遮光片(34)相匹配第一光电传感器(35),所述第一光电传感器(35)通过螺栓与所述支架(5)固定;

所述第二夹持件(42)远离所述第二导向轮(43)的一端设置有第二遮光片(44),所述支架(5)上相应地设置有与所述第二遮光片(44)相匹配第二光电传感器(45),所述第二光电传感器(45)通过螺栓与所述支架(5)固定。

4.根据权利要求3所述的一种高稳定性的夹持装置,其特征在于:所述第一光电传感器(35)和所述第一遮光片(34)的数量均大于二,所述第二光电传感器(45)和所述第二遮光片(44)的数量均大于二。

5.根据权利要求1所述的一种高稳定性的夹持装置,其特征在于:

所述第一夹具(1)和所述第二夹具(2)的形状均为U字型;

所述第一支撑杆(3)包括与所述第一导向轴(31)同轴固定的第一金属套轴(36),所述第一金属套轴(36)套接有第一塑料外壳(37),所述第一夹具(1)与所述第一塑料外壳(37)卡接固定;

所述第二支撑杆(4)包括与所述第二导向轴(41)同轴固定的第二金属套轴(46),所述第二金属套轴(46)套接有第二塑料外壳(47),所述第二夹具(2)与所述第二塑料外壳(47)卡接固定。

6.根据权利要求5所述的一种高稳定性的夹持装置,其特征在于,所述第一夹具(1)和所述第二夹具(2)均设置有用于支撑圆晶盒的横杆(11),所述横杆(11)与第一方向的夹角为α;且α5°。

7.根据权利要求6所述的一种高稳定性的夹持装置,其特征在于,所述第一夹具(1)设置有用于放置所述圆晶盒晃动的竖杆(12)。

8.根据权利要求7所述的一种高稳定性的夹持装置,其特征在于,所述第一夹具(1)和所述第二夹具(2)的数量均大于等于二。

9.根据权利要求1所述的一种高稳定性的夹持装置,其特征在于,所述支架(5)设置有若干分别对第一导向轴(31)和第二导向轴(41)进行限位的卡簧。

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