[实用新型]一种高稳定性的夹持装置有效
申请号: | 202020221224.6 | 申请日: | 2020-02-27 |
公开(公告)号: | CN211480004U | 公开(公告)日: | 2020-09-11 |
发明(设计)人: | 邓信甫;蔡嘉雄;王雪松;徐铭;陈佳炜 | 申请(专利权)人: | 至微半导体(上海)有限公司;江苏启微半导体设备有限公司 |
主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687 |
代理公司: | 北京沁优知识产权代理有限公司 11684 | 代理人: | 蔡岩岩 |
地址: | 200000 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 稳定性 夹持 装置 | ||
1.一种高稳定性的夹持装置,包括第一夹具(1)、第二夹具(2)、用于驱动所述第一夹具(1)和所述第二夹具(2)相互夹紧或放松的转动传动机构以及气缸驱动装置(61),其特征在于:
所述转动传动机构包括第一支撑杆(3)和第二支撑杆(4),所述第一支撑杆(3)和所述第二支撑杆(4)平行设置,所述第一支撑杆(3)包括第一导向轴(31),所述第二支撑杆(4)包括第二导向轴(41),所述第一导向轴(31)和所述第二导向轴(41)分别通过轴承与支架(5)相连接,所述第一支撑杆(3)和所述第二支撑杆(4)的延伸方向为第一方向;所述支架(5)上设置有滑移板(6),所述气缸驱动装置(61)用于驱动所述滑移板(6)沿着所述第一方向移动,所述滑移板(6)包括形状为等腰梯形的梯形部(64),所述梯形部(64)包括第一侧斜面(62)和第二侧斜面(63);
所述支架(5)设置有用于驱动所述第一导向轴(31)旋转的第一夹持件(32),所述第一夹持件(32)远离所述第一导向轴(31)的一端设置有第一导向轮(33),所述第一导向轮(33)用于接触第一侧斜面(62);
所述支架(5)设置有用于驱动所述第二导向轴(41)旋转的第二夹持件(42),所述第二夹持件(42)远离所述第二导向轴(41)的一端设置有第二导向轮(43),所述第一导向轮(33)用于接触第二侧斜面(63);
所述第一夹持件(32)和所述第二夹持件(42)通过硬质弹簧(7)相连接,所述硬质弹簧(7)的一端与所述第一夹持件(32)远离所述第一导向轴(31)的一端相固定,所述硬质弹簧(7)的另一端与所述第二夹持件(42)远离所述第二导向轴(41)的一端相固定;
所述硬质弹簧(7)用于驱动所述第一导向轮(33)和所述第二导向轮(43)分别压紧所述第一侧斜面(62)和所述第二侧斜面(63)。
2.根据权利要求1所述的一种高稳定性的夹持装置,其特征在于:所述支架(5)设置有用于对所述滑移板(6)进行限位的限位块(51)。
3.根据权利要求1所述的一种高稳定性的夹持装置,其特征在于:所述第一夹持件(32)远离所述第一导向轮(33)的一端设置有第一遮光片(34),所述支架(5)上相应地设置有与所述第一遮光片(34)相匹配第一光电传感器(35),所述第一光电传感器(35)通过螺栓与所述支架(5)固定;
所述第二夹持件(42)远离所述第二导向轮(43)的一端设置有第二遮光片(44),所述支架(5)上相应地设置有与所述第二遮光片(44)相匹配第二光电传感器(45),所述第二光电传感器(45)通过螺栓与所述支架(5)固定。
4.根据权利要求3所述的一种高稳定性的夹持装置,其特征在于:所述第一光电传感器(35)和所述第一遮光片(34)的数量均大于二,所述第二光电传感器(45)和所述第二遮光片(44)的数量均大于二。
5.根据权利要求1所述的一种高稳定性的夹持装置,其特征在于:
所述第一夹具(1)和所述第二夹具(2)的形状均为U字型;
所述第一支撑杆(3)包括与所述第一导向轴(31)同轴固定的第一金属套轴(36),所述第一金属套轴(36)套接有第一塑料外壳(37),所述第一夹具(1)与所述第一塑料外壳(37)卡接固定;
所述第二支撑杆(4)包括与所述第二导向轴(41)同轴固定的第二金属套轴(46),所述第二金属套轴(46)套接有第二塑料外壳(47),所述第二夹具(2)与所述第二塑料外壳(47)卡接固定。
6.根据权利要求5所述的一种高稳定性的夹持装置,其特征在于,所述第一夹具(1)和所述第二夹具(2)均设置有用于支撑圆晶盒的横杆(11),所述横杆(11)与第一方向的夹角为α;且α5°。
7.根据权利要求6所述的一种高稳定性的夹持装置,其特征在于,所述第一夹具(1)设置有用于放置所述圆晶盒晃动的竖杆(12)。
8.根据权利要求7所述的一种高稳定性的夹持装置,其特征在于,所述第一夹具(1)和所述第二夹具(2)的数量均大于等于二。
9.根据权利要求1所述的一种高稳定性的夹持装置,其特征在于,所述支架(5)设置有若干分别对第一导向轴(31)和第二导向轴(41)进行限位的卡簧。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造