[实用新型]一种芯片镀膜治具的搬运机械手

权利要求书

1.一种芯片镀膜治具的搬运机械手，包括机械手本体(100)，其特征在于，还包括：

升降机构(200)，所述升降机构(200)包括第一驱动件(210)、第一支撑板(220)和连接件(230)，所述第一驱动件(210)的输出轴与所述第一支撑板(220)的底面连接，所述连接件(230)与所述第一支撑板(220)的底面连接，所述连接件(230)的底壁上设有滑孔(231)；

夹取机构(300)，所述夹取机构(300)包括第二支撑板(310)、第二驱动件(320)、滑轨组件(330)和夹爪(340)，所述第二支撑板(310)的顶面与所述第一驱动件(210)连接，所述第二支撑板(310)的底面与所述第二驱动件(320)连接，所述第二驱动件(320)的输出轴与所述滑轨组件(330)连接，所述第二驱动件(320)带动所述滑轨组件(330)沿水平方向做左右运动，所述夹爪(340)包括连接部(341)和爪部(342)，所述连接部(341)与所述滑轨组件(330)连接，所述爪部(342)贯穿所述滑孔(231)；

视觉定位组件(400)，所述视觉定位组件(400)与所述第二支撑板(310)连接，所述视觉定位组件(400)自上而下依次包括信息处理器(410)、CCD相机(420)和光源灯(430),所述信息处理器(410)与所述CCD相机(420)电性连接，所述CCD相机(420)的镜头设于所述光源灯(430)顶面中心处的开口内。

2.如权利要求1所述的一种芯片镀膜治具的搬运机械手，其特征在于，所述升降机构(200)还包括导向柱(240)，所述导向柱(240)的顶端与所述第一支撑板(220)活动插接，所述导向柱(240)的底端与所述第二支撑板(310)固定连接。

3.如权利要求1所述的一种芯片镀膜治具的搬运机械手，其特征在于，所述滑轨组件(330)包括滑轨(331)、滑块(332)和连接板(333)，所述滑轨(331)与所述第一支撑板(220)固定连接，所述滑轨(331)与所述滑块(332)滑动连接，所述滑块(332)的底面与所述连接板(333)固定连接。

4.如权利要求3所述的一种芯片镀膜治具的搬运机械手，其特征在于，所述滑轨(331)设于所述滑块(332)顶面设的开口槽内，所述滑轨(331)的两侧分别设有滑槽，所述开口槽上与所述滑槽的位置对应处设有凸台，所述凸台与所述滑槽相适配。

5.如权利要求4所述的一种芯片镀膜治具的搬运机械手，其特征在于，所述滑槽圆弧设置，所述凸台圆弧设置。

6.如权利要求1所述的一种芯片镀膜治具的搬运机械手，其特征在于，所述夹爪(340)设有四个，四个所述夹爪(340)分别设于所述第二支撑板(310)的四个边角处。

7.如权利要求6所述的一种芯片镀膜治具的搬运机械手，其特征在于，设于所述第二支撑板(310)同侧的两个所述爪部(342)同向设置。

8.如权利要求7所述的一种芯片镀膜治具的搬运机械手，其特征在于，设于所述第二支撑板(310)同侧的两个所述爪部(342)相对设置。

9.如权利要求1所述的一种芯片镀膜治具的搬运机械手，其特征在于，还包括用于监测镀膜治具(600)位置的定位传感器(500)，所述定位传感器(500)设于所述第二支撑板(310)上与镀膜治具(600)边缘的位置对应处。

10.如权利要求1所述的一种芯片镀膜治具的搬运机械手，其特征在于，所述第一驱动件(210)和所述第二驱动件(320)为油缸或气缸。