[实用新型]一种芯片镀膜治具的搬运机械手

说明书

本实用新型涉及一种芯片镀膜治具的搬运机械手具,包括机械手本体、升降机构、夹取机构和视觉定位组件；当机械手准备对镀膜治具进行抓取工作时，机械手向镀膜治具靠近，直到机械手的视觉定位组件通过CCD相机机械视觉定位检测到原先预设的标记点此时夹爪下方正对爪孔位置，机械手停止移动，然后升降机构带动夹取机构下降直到夹爪把镀膜治具爪孔上方的双面胶戳破，然后升降机构带动夹取机构上升到与抓孔对应位置，之后夹取机构的第二驱动件带动夹爪把镀膜治具爪孔抓紧，然后机械手将镀膜治具运送至其他的工作线上，因此本实用新型提供的搬运机械手可以准确定位镀膜治具抓孔位置并且可以对被双面胶遮盖的抓孔进行抓取操作。

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，尤其是一种芯片镀膜治具的搬运机械手。

背景技术

芯片，作为计算机、手机等电子设备的重要组成部件，是一种内部含有集成电路、体积较小的硅片结构。芯片多为立方体结构，在制作的过程中需要对芯片除底面以外的其余五个表面进行溅镀金属薄膜，以保护芯片，底面作为焊接面，不需要溅镀薄膜。

目前将芯片固定在镀膜治具上后还存在这人工搬运到其他工作线上的情况，即使有些企业想通过机械手来搬运，但是在贴胶之后的模具抓孔是被双面胶遮盖的，机械手存在无法准确识别抓孔位置，二是机械手靠的是气动夹指单一方向的夹取操作，所以在抓孔被双面胶遮盖后无法对模具进行抓取，这两个问题都影响了机械手应用到镀膜治具转移的生产工作中。

实用新型内容

鉴于上述状况，有必要提供一种可以准确定位镀膜治具抓孔位置并且可以对被双面胶遮盖的抓孔进行抓取操作的搬运机械手

为了实现上述目的，本实用新型提供一种芯片镀膜治具的搬运机械手包括机械手本体、升降机构、夹取机构和视觉定位组件；

所述升降机构包括第一驱动件、第一支撑板和连接件，所述第一驱动件的输出轴与所述第一支撑板的底面连接，所述连接件与所述第一支撑板的底面连接，所述连接件的底壁上设有滑孔；

所述夹取机构包括第二支撑板、第二驱动件、滑轨组件和夹爪，所述第二支撑板的顶面与所述第一驱动件连接，所述第二支撑板的底面与所述第二驱动件连接，所述第二驱动件的输出轴与所述滑轨组件连接，所述第二驱动件带动所述滑轨组件沿水平方向做左右运动，所述夹爪包括连接部和爪部，所述连接部与所述滑轨组件连接，所述爪部贯穿所述滑孔；

所述视觉定位组件与所述第二支撑板连接，所述视觉定位组件自上而下依次包括包括信息处理器、CCD相机和光源灯,所述信息处理器与所述CCD相机电性连接，所述CCD相机的镜头设于所述光源灯顶面中心处的开口内。

进一步地，所述升降机构还包括导向柱，所述导向柱的顶端与所述第一支撑板活动插接，所述导向柱的底端与所述第二支撑板固定连接。

进一步地，所述滑轨组件包括滑轨、滑块和连接板，所述滑轨与所述第一支撑板固定连接，所述滑轨与所述滑块滑动连接，所述滑块的底面与所述连接板固定连接。

进一步地，所述滑轨设于所述滑块顶面设的开口槽内，所述滑轨的两侧分别设有滑槽，所述开口槽上与所述滑槽的位置对应处设有凸台，所述凸台与所述滑槽相适配。

进一步地，所述滑槽圆弧设置，所述凸台圆弧设置。

进一步地，所述夹爪设有四个，四个所述夹爪分别设于所述第二支撑板的四个边角处。

进一步地，设于所述第二支撑板同侧的两个所述爪部同向设置。

进一步地，设于所述第二支撑板同侧的两个所述爪部相对设置。

进一步地，本实用新型提供的一种芯片镀膜治具的搬运机械手还包括用于监测镀膜治具位置的定位传感器，所述定位传感器设于所述第二支撑板与镀膜治具边缘的位置对应处。

进一步地，所述第一驱动件和所述第二驱动件为油缸或气缸。