[实用新型]运输设备

权利要求书

1.一种运输设备，用于将晶圆输送至预设位置处，其特征在于，所述运输设备包括：

承载结构，用于承载所述晶圆；

电磁组件，位于至少部分所述承载结构的外围，所述电磁组件用于通电后向所述承载结构施加电磁力，以使所述承载结构处于悬浮状态；

驱动组件，与所述承载结构连接；所述驱动组件用于在所述承载结构处于所述悬浮状态时驱动所述承载结构运动至所述预设位置处。

2.根据权利要求1所述的运输设备，其特征在于，所述运输设备还包括机架，所述电磁组件设置在所述机架上。

3.根据权利要求2所述的运输设备，其特征在于，所述电磁组件包括：

第一电磁结构，位于所述承载结构的下方，所述第一电磁结构向所述承载结构施加朝上的电磁力；

第二电磁结构，位于所述承载结构的上方且与所述第一电磁结构相对设置，所述第二电磁结构向所述承载结构施加朝上或朝下的电磁力。

4.根据权利要求3所述的运输设备，其特征在于，所述电磁组件还包括：

第三电磁结构，位于所述承载结构的一侧，所述第三电磁结构向所述承载结构的第一侧施加朝向或远离所述承载结构的第二侧的电磁力；所述第一侧与所述第二侧背对设置。

5.根据权利要求2所述的运输设备，其特征在于，所述电磁组件为两组，一组所述电磁组件包覆至少部分所述承载结构的第一侧，另一组所述电磁组件包覆至少部分所述承载结构的第二侧；其中，所述第一侧和所述第二侧背对设置。

6.根据权利要求5所述的运输设备，其特征在于，所述机架为两个，两个所述机架与两组所述电磁组件一一对应地设置，两个所述机架分别位于所述承载结构的两侧；其中，所述驱动组件驱动所述承载结构沿预设方向运动，各所述机架沿所述预设方向延伸。

7.根据权利要求4所述的运输设备，其特征在于，所述机架包括：

第一板体，所述第一电磁结构设置在所述第一板体上；

第二板体，所述第一板体与所述第二板体的一端连接，所述第一板体与所述第二板体呈第一夹角设置，所述第三电磁结构设置在所述第二板体上；

第三板体，所述第三板体与所述第二板体的另一端连接，所述第三板体与所述第二板体呈第二夹角设置，所述第二电磁结构设置在所述第三板体上。

8.根据权利要求1所述的运输设备，其特征在于，所述运输设备还包括控制模块，所述控制模块与所述电磁组件连接，以控制所述电磁组件所在电路的通断，所述驱动组件包括：

驱动装置，与所述承载结构连接，所述驱动装置驱动所述承载结构运动；所述控制模块与所述驱动装置连接，以控制所述驱动装置的启停动作。

9.根据权利要求8所述的运输设备，其特征在于，所述控制模块还用于控制所述电磁组件所在电路处于通路状态且控制所述驱动装置处于停止运行状态，以使所述运输设备处于承接状态，所述承载结构对所述晶圆进行承载；待所述承载结构承载所述晶圆后，所述控制模块再控制所述驱动装置处于启动状态，所述驱动装置驱动所述承载结构带动所述晶圆运动。

10.根据权利要求8所述的运输设备，其特征在于，所述驱动装置为气缸或液压缸，所述气缸或所述液压缸的活塞杆与所述承载结构连接，以通过所述活塞杆驱动所述承载结构运动。