[实用新型]一种纳米真空镀膜仪有效
| 申请号： | 202020233758.0 | 申请日： | 2020-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN211689214U | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | 王宁 | 申请（专利权）人： | 苏州泓沵达仪器科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/56 |
| 代理公司： | 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260 | 代理人： | 丰叶 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 真空镀膜 | ||
1.一种纳米真空镀膜仪，包括镀膜筒体(1)、蒸发箱(2)和抽气装置(3)，所述镀膜筒体(1)内设置有真空镀膜室(4)，所述真空镀膜室(4)通过第一管道(11)与蒸发箱(2)连通，所述蒸发箱(2)通过第二管道(12)与抽气装置(3)连通，其特征在于：所述真空镀膜室(4)内设置有旋转机构(5)，所述旋转机构(5)包括电机(51)和旋转柱(52)，所述电机(51)设置在镀膜筒体(1)上且电机(51)的输出轴与旋转柱(52)的一端连接，所述旋转柱(52)的另一端穿过真空镀膜室(4)一侧且旋转柱(52)上设置有旋转台(6)，所述旋转台(6)位于真空镀膜室(4)内，所述旋转台(6)上设置有固定柱(7)。
2.根据权利要求1所述一种纳米真空镀膜仪，其特征在于：还包括机架(8)，所述镀膜筒体(1)、蒸发箱(2)和抽气装置(3)均设置在机架(8)上，所述机架(8)设置有多个脚架，多个所述脚架与工作地面接触。
3.根据权利要求1所述一种纳米真空镀膜仪，其特征在于：所述蒸发箱(2)设置有进料口(9)，所述镀膜筒体(1)上设置有开口(10)，所述开口(10)与真空镀膜室(4)相通，所述进料口(9)和开口(10)上都设置有门板(14)，两个所述门板(14)分别与蒸发箱(2)和镀膜筒体(1)转动连接，两个所述门板(14)分别将进料口(9)和开口(10)覆盖。
4.根据权利要求1所述一种纳米真空镀膜仪，其特征在于：所述真空镀膜室(4)和蒸发箱(2)之间设置有铁丝网格。
5.根据权利要求1所述一种纳米真空镀膜仪,其特征在于：所述镀膜筒体(1)和蒸发箱(2)的外部均包裹有隔热板。
6.根据权利要求1所述一种纳米真空镀膜仪,其特征在于：所述抽气装置(3)为通过第三管道(13)依次连通的扩散泵(31)、涡轮真空泵(32)和前级泵(33)，所述前级泵(33)的一端与蒸发箱(2)通过第二管道(12)连通。
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