[实用新型]硅片花篮有效
申请号: | 202020234556.8 | 申请日: | 2020-02-28 |
公开(公告)号: | CN211182170U | 公开(公告)日: | 2020-08-04 |
发明(设计)人: | 沈杰 | 申请(专利权)人: | 常州科讯精密机械有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;H01L31/18 |
代理公司: | 常州市科谊专利代理事务所 32225 | 代理人: | 钮云涛 |
地址: | 213000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 硅片 花篮 | ||
1.一种硅片花篮,包括两个端板和固定在两个端板之间的若干齿杆,其特征在于,
所述齿杆上具有至少一列尖齿排,该列尖齿排具有若干尖齿本体,其中
硅片适于卡设在两个所述尖齿本体之间且该硅片的端面与其接触的所述尖齿本体之间有且仅有一个接触点。
2.如权利要求1所述的硅片花篮,其特征在于,
沿着所述齿杆的杆身长度方向上设置有两列尖齿排,一列所述尖齿排的尖齿本体与另一列所述尖齿排的尖齿本体交错设置。
3.如权利要求1所述的硅片花篮,其特征在于,
交错设置的两个尖齿本体之间的距离相等。
4.如权利要求1~3任一所述的硅片花篮,其特征在于,
所述尖齿本体的底部呈与所述齿杆的侧壁贴合的瓜壳面,所述瓜壳面包括与所述齿杆的杆身长度方向互相平行的瓜壳直线和两条与所述瓜壳直线的两端点接合的瓜壳弧线,以及
该两条所述瓜壳弧线的端部接合;
所述尖齿本体的顶部为三角形面,所述三角形面的底边与所述瓜壳直线互相平行;
自所述瓜壳弧线延伸有倾斜弧面至所述三角形面的侧边,自所述瓜壳直线延伸有垂直平面至所述三角形面的底边。
5.如权利要求1所述的硅片花篮,其特征在于,
在同一列所述尖齿排中,相邻两个所述尖齿本体的齿尖之间的距离为4.5mm~4.8mm。
6.如权利要求1所述的硅片花篮,其特征在于,
相邻两个交错的所述尖齿本体之间的距离为1.6mm~1.8mm。
7.如权利要求4所述的硅片花篮,其特征在于,
所述瓜壳面具有一与所述齿杆的杆身相互平行的腰线,所述腰线至所述三角形面的距离为4.5mm~5.5mm。
8.如权利要求1所述的硅片花篮,其特征在于,
所述端板上开设有两个钩部,所述端板上镜像设置有两个斜部,该斜部的侧边长为8mm~12mm。
9.如权利要求1所述的硅片花篮,其特征在于,
底部设置有互相平行的两根所述齿杆,侧部镜像设置有两列辅助杆,每列所述辅助杆具有三根,其中
所述辅助杆上设置一列辅助齿排。
10.如权利要求1所述的硅片花篮,其特征在于,
底部设置有互相平行的三根所述齿杆,侧部镜像设置有两列辅助杆,每列所述辅助杆具有三根,其中
所述辅助杆上设置一列辅助齿排。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造