[实用新型]硅片花篮有效
申请号: | 202020234556.8 | 申请日: | 2020-02-28 |
公开(公告)号: | CN211182170U | 公开(公告)日: | 2020-08-04 |
发明(设计)人: | 沈杰 | 申请(专利权)人: | 常州科讯精密机械有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;H01L31/18 |
代理公司: | 常州市科谊专利代理事务所 32225 | 代理人: | 钮云涛 |
地址: | 213000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 硅片 花篮 | ||
本实用新型提供了一种硅片花篮,包括两个端板和固定在两个端板之间的若干齿杆,所述齿杆上具有至少一列尖齿排,该列尖齿排具有若干尖齿本体,其中硅片适于卡设在两个所述尖齿本体之间且该硅片的端面与其接触的所述尖齿本体之间有且仅有一个接触点。此种硅片花篮,通过端板配合齿杆,实现对于硅片的架设,而通过两列尖齿排,实现硅片的定位固定,并通过两个尖齿本体实现相隔定位,此时尖齿本体与硅片之间有且仅有一个接触点,从而很好的保护硅片的表面,使其可变形的区间在一个点而不是一条线或者一个面。
技术领域
本实用新型涉及光伏设备领域,具体涉及一种硅片花篮。
背景技术
申请号:CN201920132417.1,公开了一种硅片花篮,包括端板和齿杆,齿杆的下部设有导流体,导流体相对于所述齿杆向外延伸的长度从所述导流体的一端至所述导流体的另一端逐渐增加,导流体的宽度随导流体的长度增加而逐渐增加,齿杆为圆柱形,导流体还包括两个相交的侧面,侧面上的最长的边线与齿杆的外圆相切,两个侧面相交处为圆弧,圆弧的半径小于0.2mm,导流体的两个侧面相交线与所述齿杆之间的夹角为2°,导流体的两个侧面之间的的夹角为60°,齿杆与所述端板为垂直设置。相较于现有技术,本实用新型的硅片花篮在制绒后的残留液体大幅减少,从而使药效使用周期增长,同时缩短了烘干时间,提高了生产效率。
其中,该硅片花篮中的齿杆排列整齐,在固定较大的硅片的时候,因为接触的问题,会导致在硅片的表面出现凹面,从而导致在清洗较大的硅片的时候出现损坏,因此,能够提供一种适合固定较大的硅片的硅片花篮是很有必要的。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是:提供一种适合固定较大的硅片的硅片花篮。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:一种硅片花篮,包括两个端板和固定在两个端板之间的若干齿杆,
所述齿杆上具有至少一列尖齿排,该列尖齿排具有若干尖齿本体,其中
硅片适于卡设在两个所述尖齿本体之间且该硅片的端面与其接触的所述尖齿本体之间有且仅有一个接触点。
作为优选,沿着所述齿杆的杆身长度方向上设置有两列尖齿排,一列所述尖齿排的尖齿本体与另一列所述尖齿排的尖齿本体交错设置。
作为优选,交错设置的两个尖齿本体之间的距离相等。
作为优选,所述尖齿本体的底部呈与所述齿杆的侧壁贴合的瓜壳面,所述瓜壳面包括与所述齿杆的杆身长度方向互相平行的瓜壳直线和两条与所述瓜壳直线的两端点接合的瓜壳弧线,以及
该两条所述瓜壳弧线的端部接合;
所述尖齿本体的顶部为三角形面,所述三角形面的底边与所述瓜壳直线互相平行;
自所述瓜壳弧线延伸有倾斜弧面至所述三角形面的侧边,自所述瓜壳直线延伸有垂直平面至所述三角形面的底边。
作为优选,在同一列所述尖齿排中,相邻两个所述尖齿本体的齿尖之间的距离为4.5mm~4.8mm。
作为优选,相邻两个交错的所述尖齿本体之间的距离为1.6mm~1.8mm。
作为优选,所述瓜壳面具有一与所述齿杆的杆身相互平行的腰线,所述腰线至所述三角形面的距离为4.5mm~5.5mm。
作为优选,所述端板上开设有两个钩部,所述端板上镜像设置有两个斜部,该斜部的侧边长为8mm~12mm。
作为优选,底部设置有互相平行的两根所述齿杆,侧部镜像设置有两列辅助杆,每列所述辅助杆具有三根,其中
所述辅助杆上设置一列辅助齿排。
作为优选,底部设置有互相平行的三根所述齿杆,侧部镜像设置有两列辅助杆,每列所述辅助杆具有三根,其中
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造