[实用新型]一种旋转靶绑定的旋转定位装置有效
申请号: | 202020240937.7 | 申请日: | 2020-03-03 |
公开(公告)号: | CN211445883U | 公开(公告)日: | 2020-09-08 |
发明(设计)人: | 张益 | 申请(专利权)人: | 东莞市欧莱溅射靶材有限公司 |
主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34 |
代理公司: | 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 | 代理人: | 李少欢 |
地址: | 523000 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 旋转 绑定 定位 装置 | ||
1.一种旋转靶绑定的旋转定位装置,包括用于固定旋转靶(13)的底座(10),其特征在于:底座(10)设置有驱动部(11)和夹持部(20),夹持部(20)旋转安装于驱动部(11),底座(10)的一侧设置有定位柱(12),定位柱(12)套设有滑动定位部,滑动定位部滑动安装于定位柱(12),滑动定位部设置有上定位部(30),上定位部(30)与定位柱(12)之间设置有设定距离,
在对旋转靶(13)进行定位时,夹持部(20)固定旋转靶(13)的一端,上定位部(30)抵压旋转靶(13)的另一端。
2.根据权利要求1所述的一种旋转靶绑定的旋转定位装置,其特征在于:所述滑动定位部设置有连接杆(40),连接杆(40)的一端与所述上定位部(30)连接,连接杆(40)的另一端设置有滑动套(42),滑动套(42)滑动套(42)装于所述定位柱(12)。
3.根据权利要求2所述的一种旋转靶绑定的旋转定位装置,其特征在于:所述滑动套(42)设置有定位螺孔(43),定位螺孔(43)设置有定位螺丝(44),定位螺丝(44)的尾部朝向所述定位柱(12)设置。
4.根据权利要求2所述的一种旋转靶绑定的旋转定位装置,其特征在于:所述上定位部(30)设置有顶锥部(31)、连接柱(34)和上顶部(35),连接柱(34)的一端与顶锥部(31)连接,连接柱(34)的另一端与上顶部(35)连接,连接柱(34)旋转安装于所述连接杆(40)的一端。
5.根据权利要求4所述的一种旋转靶绑定的旋转定位装置,其特征在于:所述顶锥部(31)设置有上底面(32),上底面(32)与所述连接柱(34)连接,上底面(32)从上往下向轴线方向延伸形成一斜锥面(33),在对所述旋转靶(13)进行定位时,所述旋转靶(13)抵顶于斜锥面(33)。
6.根据权利要求5所述的一种旋转靶绑定的旋转定位装置,其特征在于:所述连接杆(40)的一端设置有固定套圈(41),所述连接柱(34)穿过固定套圈(41),连接柱(34)旋转安装于连接杆(40)。
7.根据权利要求6所述的一种旋转靶绑定的旋转定位装置,其特征在于:所述夹持部(20)上部设置有滑动槽(21)和夹持爪(22),夹持爪(22)安装于滑动槽(21),在对所述旋转靶(13)进行固定时,夹持爪(22)的一侧抵顶旋转靶(13)。
8.根据权利要求7所述的一种旋转靶绑定的旋转定位装置,其特征在于:所述夹持部(20)设置至少有三个所述滑动槽(21),滑动槽(21)朝向夹持部(20)的轴线方向设置,所述夹持爪(22)的数量与滑动槽(21)的数量相对应,所述夹持爪(22)滑动安装于滑动槽(21)。
9.根据权利要求8所述的一种旋转靶绑定的旋转定位装置,其特征在于:在对所述旋转靶(13)进行定位时,所述夹持部(20)、旋转靶(13)和所述顶锥部(31)同轴安装。
10.根据权利要求8所述的一种旋转靶绑定的旋转定位装置,其特征在于:所述底座(10)设置有延长定位管(50),延长定位管(50)的一端设置有靶材安装部(51),靶材安装部(51)凸出设置于延长定位管(50)的一端,靶材安装部(51)的直径小于延长定位管(50)的直径。
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