[实用新型]一种旋转靶绑定的旋转定位装置

说明书

本实用新型公开了一种旋转靶绑定的旋转定位装置，包括用于固定旋转靶的底座，底座设置有驱动部和夹持部，夹持部旋转安装于驱动部，底座的一侧设置有定位柱，定位柱套设有滑动定位部，滑动定位部滑动安装于定位柱，滑动定位部设置有上定位部，上定位部与定位柱之间设置有设定距离，在对旋转靶进行定位时，夹持部固定旋转靶的一端，上定位部抵压旋转靶的另一端。本实用新型的旋转定位装置，适用性强，功能性强，提高旋转靶的绑定质量。

技术领域

本实用新型涉及旋转靶绑定的技术领域，尤其是涉及一种旋转靶绑定的旋转定位装置。

背景技术

ITO旋转靶材呈空心圆管状，能够围绕固定的条状磁铁组件旋转，可360度均匀刻蚀靶面，具有利用率高，镀膜连续性好、镀膜成分均匀等优点。ITO薄膜即铟锡氧化物半导体透明导电膜，被广泛应用于平面显示等领域。随着平面显示技术的发展，对ITO靶材的需求出现了大幅增长，其中也对靶材尺寸需求呈现多样化发展。

在旋转靶的绑定过程中，需要定位装置将背管进行固定后才可开始进行绑定。现有的旋转靶绑定定位装置功能单一，不能满足多种尺寸的靶材定位。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的是提供一种旋转靶绑定的旋转定位装置，适用性强，功能性强，提高旋转靶的绑定质量。

为了实现上述目的，本实用新型所采用的技术方案是：一种旋转靶绑定的旋转定位装置，包括用于固定旋转靶的底座，底座设置有驱动部和夹持部，夹持部旋转安装于驱动部，底座的一侧设置有定位柱，定位柱套设有滑动定位部，滑动定位部滑动安装于定位柱，滑动定位部设置有上定位部，上定位部与定位柱之间设置有设定距离，在对旋转靶进行定位时，夹持部固定旋转靶的一端，上定位部抵压旋转靶的另一端。

进一步的技术方案中，所述滑动定位部设置有连接杆，连接杆的一端与所述上定位部连接，连接杆的另一端设置有滑动套，滑动套滑动套装于所述定位柱。

进一步的技术方案中，所述滑动套设置有定位螺孔，定位螺孔设置有定位螺丝，定位螺丝的尾部朝向所述定位柱设置。

进一步的技术方案中，所述上定位部设置有顶锥部、连接柱和上顶部，连接柱的一端与顶锥部连接，连接柱的另一端与上顶部连接，连接柱旋转安装于所述连接杆的一端。

进一步的技术方案中，所述顶锥部设置有上底面，上底面与所述连接柱连接，上底面从上往下向轴线方向延伸形成一斜锥面，在对所述旋转靶进行定位时，所述旋转靶抵顶于斜锥面。

进一步的技术方案中，所述连接杆的一端设置有固定套圈，所述连接柱穿过固定套圈，连接柱旋转安装于连接杆。

进一步的技术方案中，所述夹持部上部设置有滑动槽和夹持爪，夹持爪安装于滑动槽，在对所述旋转靶进行固定时，夹持爪的一侧抵顶旋转靶。

进一步的技术方案中，所述夹持部设置至少有三个所述滑动槽，滑动槽朝向夹持部的轴线方向设置，所述夹持爪的数量与滑动槽的数量相对应，所述夹持爪滑动安装于滑动槽。

进一步的技术方案中，在对所述旋转靶进行定位时，所述夹持部、旋转靶和所述顶锥部同轴安装。

进一步的技术方案中，所述底座设置有延长定位管，延长定位管的一端设置有靶材安装部，靶材安装部凸出设置于延长定位管的一端，靶材安装部的直径小于延长定位管的直径。

采用上述结构后，本实用新型和现有技术相比所具有的优点是：

1.本实用新型的旋转定位装置能适用于多种不同长度和不同直径的旋转靶的定位，适用性强。

2.本实用新型的旋转定位装置通过底座与上定位部配合将旋转靶进行定位，使旋转靶在旋转时更加平稳，能应用于在绑定过程中浇筑绑定焊料和加热，功能性强，有效提高绑定质量。

附图说明