[实用新型]一种热蒸发镀膜用旋转非球面夹具有效
申请号: | 202020245494.0 | 申请日: | 2020-03-03 |
公开(公告)号: | CN211999898U | 公开(公告)日: | 2020-11-24 |
发明(设计)人: | 鲍刚华;卢成;陆斌;王伟;王健平 | 申请(专利权)人: | 成都国泰真空设备有限公司 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50;C23C14/30 |
代理公司: | 成都其高专利代理事务所(特殊普通合伙) 51244 | 代理人: | 贾波 |
地址: | 611130 四川省成都市温江*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 蒸发 镀膜 旋转 球面 夹具 | ||
【权利要求书】:
1.一种热蒸发镀膜用旋转非球面夹具,其特征在于:所述非球面夹具的内腔结构包括平面状的顶面及顶面边缘向外呈弧状延伸形成的坡面。
2.根据权利要求1所述的一种热蒸发镀膜用旋转非球面夹具,其特征在于:所述顶面的边缘与坡面的衔接处平滑过渡。
3.根据权利要求1或2所述的一种热蒸发镀膜用旋转非球面夹具,其特征在于:所述顶面与坡面一体成型。
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