[实用新型]掩膜版检测夹具

权利要求书

1.一种掩膜版检测夹具，其特征在于，

它包括：

底座(1)；

限位座组，所述限位座包括固定在底座(1)上的固定限位座(2)和滑配在底座(1)上、并位于所述固定限位座(2)对面的滑动限位座(3)；

滑动驱动机构，所述滑动驱动机构与所述滑动限位座(3)相连以驱动滑动限位座(3)朝向固定限位座(2)移动以夹紧掩膜版(100)。

2.根据权利要求1所述的掩膜版检测夹具，其特征在于，

所述底座(1)上设置有导轨(4)，所述滑动限位座(3)上设置有滑块，所述滑动限位座(3)通过滑块与导轨(4)的滑动配合滑配在底座(1)上。

3.根据权利要求1所述的掩膜版检测夹具，其特征在于，

所述滑动驱动机构包括：

固定在底座(1)上的齿条(5)；

与所述齿条(5)相啮合的齿轮(6)；

与所述齿轮(6)相连、且用于驱动齿轮(6)旋转的电机(7)，所述电机(7)的机体固定在滑动限位座(3)上。

4.根据权利要求1所述的掩膜版检测夹具，其特征在于，

还包括用于支撑掩膜版(100)并调整其所支撑的掩膜版(100)的下表面所在高度的高度调整装置。

5.根据权利要求4所述的掩膜版检测夹具，其特征在于，

所述高度调整装置包括两个高度调整机构，一个安装在固定限位座(2)上，另一个安装在滑动限位座(3)上，所述高度调整机构包括：

至少两个厚度控制杆组，所述厚度控制杆组包括至少两个厚度控制杆(8)，限位座组上设置有多个安装孔(9)，安装孔(9)与厚度控制杆(8)一一对应，所述厚度控制杆(8)可沿其轴向活动地插装在相应的安装孔(9)内；

与所述厚度控制杆组一一对应的伸缩驱动机构，所述伸缩驱动机构与相应厚度控制杆组相连，以驱动相应厚度控制杆组中的厚度控制杆(8)伸出安装孔(9)以支撑掩膜版(100)；其中，

不同厚度控制杆组的用于支撑掩膜版(100)的支撑部(14)的最高点不在同一高度。

6.根据权利要求5所述的掩膜版检测夹具，其特征在于，

所述伸缩驱动机构包括：

与所述厚度控制杆组一一对应的联动支架(10)，所述联动支架(10)上设置有与相应厚度控制杆组内的厚度控制杆(8)一一对应的导向孔(11)，所述导向孔(11)与所述厚度控制杆(8)的轴向呈一定夹角；

与所述导向孔(11)一一对应的销轴(12)，所述销轴(12)的一端与相应的厚度控制杆(8)相连，另一端穿过导向孔(11)；

移动驱动件，所述移动驱动件与所述联动支架(10)相连，以便通过移动驱动件驱动所述联动支架(10)移动，所述联动支架(10)又通过其导向孔(11)与销轴(12)的配合推动所述厚度控制杆(8)在厚度控制杆(8)的轴向上移动。

7.根据权利要求6所述的掩膜版检测夹具，其特征在于，

所述移动驱动件为气缸(13)，所述气缸(13)的缸体固定在限位座组上，所述气缸(13)的气缸杆与所述联动支架(10)相连。

8.根据权利要求6所述的掩膜版检测夹具，其特征在于，

所有安装孔(9)位于同一高度，所述支撑部(14)呈圆柱状，且轴线平行于水平方向，所有支撑部(14)的轴线位于同一高度，不同厚度控制杆组中的厚度控制杆(8)的支撑部(14)的直径不同。

9.根据权利要求4所述的掩膜版检测夹具，其特征在于，

所述限位座组上安装有用于防止掩膜版(100)的上表面过高的高度预警传感器(15)。

10.根据权利要求1所述的掩膜版检测夹具，其特征在于，

还包括安装在底座(1)上、且用于限制所述滑动限位座(3)的移动行程的行程控制开关(16)。