[实用新型]掩膜版检测夹具

说明书

本实用新型公开了一种掩膜版检测夹具，它包括底座、限位座组和滑动驱动机构，所述限位座包括固定在底座上的固定限位座和滑配在底座上、并位于所述固定限位座对面的滑动限位座；所述滑动驱动机构与所述滑动限位座相连以驱动滑动限位座朝向固定限位座移动以夹紧掩膜版。本实用新型可以适用多种规格的掩膜版，进而节省材料成本。

技术领域

本实用新型涉及一种掩膜版检测夹具。

背景技术

光刻工艺是半导体行业非常重要的一道工艺，它是用来在不同的器件和电路表面建立图形的工艺过程。光刻需要掩膜版和基板；掩膜版是所刻图形和位置的基准，基板是被刻蚀的对象，比如玻璃基板、晶圆和薄膜电路板等。掩膜版和基板在生产过程中，每道工序都会产生或多或少不良缺陷，都需要检测；这些被检查的对象中很大一部分是不同规格的方形板，外形和厚度不同。随着技术和生产能力的提高，检测的方式逐渐由目视变更为检测设备自动检测。目前自动检测基本结构包含光学系统、相机、物镜和夹具，检测时物镜与被检测对象的距离一般较小，同一种规格的夹具一般不适用不同厚度的检测对象。因此夹具的需求数量增加，成本较高；检测不同厚度的检测对象时需要更换夹具，增加作业时间和人力；特别是放入检测对象厚度大于预计时，由于物镜离检测对象的距离很小，会出现物镜碰撞检测对象的危险情况。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷，提供一种掩膜版检测夹具，它可以适用多种规格的掩膜版，进而节省材料成本。

为了解决上述技术问题，本实用新型的技术方案是：一种掩膜版检测夹具，它包括：

底座；

限位座组，所述限位座包括固定在底座上的固定限位座和滑配在底座上、并位于所述固定限位座对面的滑动限位座；

滑动驱动机构，所述滑动驱动机构与所述滑动限位座相连以驱动滑动限位座朝向固定限位座移动以夹紧掩膜版。

进一步，所述底座上设置有导轨，所述滑动限位座上设置有滑块，所述滑动限位座通过滑块与导轨的滑动配合滑配在底座上。

进一步提供了一种滑动驱动机构的具体结构，所述滑动驱动机构包括：

固定在底座上的齿条；

与所述齿条相啮合的齿轮；

与所述齿轮相连、且用于驱动齿轮旋转的电机，所述电机的机体固定在滑动限位座上。

进一步为了使得掩膜版检测用夹具适用于不同厚度的掩膜版，掩膜版检测夹具还包括用于支撑掩膜版并调整其所支撑的掩膜版的下表面所在高度的高度调整装置。

进一步提供了一种高度调整装置的具体结构，所述高度调整装置包括两个高度调整机构，一个安装在固定限位座上，另一个安装在滑动限位座上，所述高度调整机构包括：

至少两个厚度控制杆组，所述厚度控制杆组包括至少两个厚度控制杆，限位座组上设置有多个安装孔，安装孔与厚度控制杆一一对应，所述厚度控制杆可沿其轴向活动地插装在相应的安装孔内；

与所述厚度控制杆组一一对应的伸缩驱动机构，所述伸缩驱动机构与相应厚度控制杆组相连，以驱动相应厚度控制杆组中的厚度控制杆伸出安装孔以支撑掩膜版；其中，

不同厚度控制杆组的用于支撑掩膜版的支撑部的最高点不在同一高度。

进一步提供了一种伸缩驱动机构的具体结构，所述伸缩驱动机构包括：

与所述厚度控制杆组一一对应的联动支架，所述联动支架上设置有与相应厚度控制杆组内的厚度控制杆一一对应的导向孔，所述导向孔与所述厚度控制杆的轴向呈一定夹角；

与所述导向孔一一对应的销轴，所述销轴的一端与相应的厚度控制杆相连，另一端穿过导向孔；