[实用新型]一种显微镜点扩散函数的测量设备

说明书

本实用新型提供了一种显微镜点扩散函数的测量设备，涉及电子设备的技术领域，包括:激光发射装置，点扩散函数校准装置，位移台和终端设备；激光发射装置，用于以不同空间姿态向点扩散函数校准装置初始线偏振光束，以及检测目标线偏振光束的纵向高度值；点扩散函数校准装置，用于检测初始线偏振光束的方向向量，以及初始线偏振光束形成的光斑的位置坐标；位移台，用于调整点扩散函数校准装置的空间姿态；终端设备，用于根据纵向高度值、方向向量和光斑的位置坐标，确定出垂直于显微镜光轴各个纵向物面上的点扩散函数，解决了现有显微镜点扩散函数测量技术中无法准确确定出垂直于显微镜光轴纵向物面的技术问题。

技术领域

本发明涉及光学显微测量的技术领域，主要涉及一种显微镜点扩散函数的测量设备。

背景技术

想点光源经过光学系统后，其像的光场分布被称为系统的点扩散函数 (pointspread function，PSF)。点扩散函数描述了光学系统对点源的解析能力，是评价各种显微成像系统的主要参量指标。因此，精确测量系统点扩散函数是不可或缺的。通常估计点扩散函数有两种方式:数值计算和物理测量。数值计算通常使用透镜理论点扩散函数模型，由于瞳函数难以准确估计，使得理论模型不能反映实际的成像系统，因此，需要对具体每套显微成像装置进行点扩散函数的精确物理实验测量。目前，显微成像系统的点扩散函数测量方法有星点探测法、刃边法以及荧光微球测量法等。对于显微系统来说，景深范围内沿光轴方向不同纵向高度物面上的点扩散函数是不同，上述方法虽然能实现点扩散函数的测量，但却不能确定出垂直于显微镜光轴的纵向物面，即这些方法无法实现垂直于显微镜光轴纵向物面上三维点扩散函数的测量。

针对上述问题，还未提出有效的解决方案。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的目的在于提供一种显微镜点扩散函数的测量设备，解决了现有显微镜点扩散函数测量技术中无法准确确定出垂直于显微镜光轴纵向物面的技术问题,实现垂直于显微镜光轴纵向物面上三维点扩散函数测量。

第一方面，本实用新型实施例提供了一种显微镜点扩散函数的测量设备，包括：光发射装置，点扩散函数校准装置，位移台和终端设备，其中，所述点扩散函数校准装置设置在所述位移台上，所述终端设备与分别所述激光发射装置、所述点扩散函数校准装置和所述位移台相连接；所述激光发射装置，用于以不同空间姿态向所述点扩散函数校准装置初始线偏振光束，以及检测目标线偏振光束的纵向高度值，其中，所述目线偏振光束为所述线偏振光线经过所述点扩散函数校准装置处理之后得到的线偏振光束；所述点扩散函数校准装置，用于检测所述初始线偏振光束的方向向量，以及所述初始线偏振光束形成的光斑的位置坐标；所述位移台，用于调整所述点扩散函数校准装置的空间姿态；所述终端设备，用于根据所述纵向高度值、所述方向向量和所述光斑的位置坐标，确定出垂直于显微镜的光轴的各个高度的物面。

进一步地，所述激光发射装置，包括：光纤激光头，第一调节架，平面分光镜，第一探测器和第二调节架，其中，所述光纤激光头与所述第一调节架相连接，所述平面分光镜和所述第一探测器设置在所述第二调节架上；所述光纤激光头，用于发射所述初始线偏振光束；所述第一调节架，用于调节所述光纤激光头的空间姿态；所述平面分光镜，用于对所述目标线偏振光输进行分光处理，得到第一子线偏振光束和第二子线偏振光束；所述第一探测器，用于检测所述第一子线偏振光束的纵向高度值，并所述第一子线偏振光束的纵向高度值确定为所述目标线偏振光束的纵向高度值；所述第二调节架，用于调整所述平面分光镜和所述第一探测器的空间姿态。