[实用新型]MEMS麦克风

权利要求书

1.一种MEMS麦克风，包括基底、盖设在所述基底的一侧并与所述基底形成保护空间的内层金属壳、固定于所述基底且收容于所述保护空间内的MEMS芯片和ASIC芯片、固定于所述基底且盖设于所述内层金属壳外的外层金属壳，所述外层金属壳与所述内层金属壳间隔设置形成壳间隙，所述基底开设与所述MEMS芯片对应的拾音孔，其特征在于，所述内层金属壳包括与所述基底正对的第一顶板及自所述第一顶板的周缘弯曲延伸至所述基底的第一周壁，所述基底自与所述内层金属壳相连的一侧朝远离所述内层金属壳的方向凹陷形成第一通气槽，所述第一周壁部分盖设于所述第一通气槽，所述第一通气槽连通所述保护空间和所述壳间隙。

2.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述基底一侧设置与所述第一周壁对应的第一连接片，所述第一周壁靠近所述基底的端面与所述第一连接片相连。

3.根据权利要求2所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述第一连接片与所述第一通气槽正对处具有缺口。

4.根据权利要求2所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述第一连接片由金制成。

5.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述外层金属壳包括与所述第一顶板正对的第二顶板及自所述第二顶板的周缘弯曲延伸至所述基底的第二周壁；

所述基底设置与所述第二周壁对应的第二连接片，所述第二周壁的端面与所述第二连接片相连。

6.根据权利要求5所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述第二周壁靠近所述基底的一端沿所述基底的端面朝远离所述内层金属壳的方向延伸形成延伸缘，所述延伸缘的靠近所述基底侧与所述第二连接片相连。

7.根据权利要求5所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述第二连接片由金制成。

8.根据权利要求5所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述内层金属壳外依次盖设有至少两层所述外层金属壳，相邻的所述外层金属壳间隔设置形成壳间隙，所述基底凹陷形成与位于相邻壳间隙之间的所述外层金属壳对应的第二通气槽，所述第二通气槽连通相邻的所述壳间隙。