[实用新型]管用进气排气装置

权利要求书

1.管用进气排气装置，包括进气管(102)和排气管(103)，所述进气管(102)和排气管(103)分布在炉管(101)内并紧靠炉内壁，所述进气管(102)和排气管(103)以布置在炉管(101)内部的硅片(104)为中心对称分布；其特征在于：所述进气管(102)和排气管(103)均为结构相同的多层套管结构，所述多层套管结构由至少两根气管由内向外同轴心套接构成；在每层气管上开设若干气孔。

2.如权利要求1所述管用进气排气装置，其特征在于：每层气管上的若干气孔均沿气管轴向或周向并排布置成一排或一排以上。

3.如权利要求2所述管用进气排气装置，其特征在于：相邻层间气管上的若干气孔互为错位布置。

4.如权利要求1～3任一权利要求所述管用进气排气装置，其特征在于：在多层套管结构中相邻气管的气孔孔径自内层向外层呈逐渐递减。

5.如权利要求4所述管用进气排气装置，其特征在于：在多层套管结构中每层气管上各相邻气孔的孔间距自内层向外层呈逐渐递减。

6.如权利要求5所述管用进气排气装置，其特征在于：在多层套管结构中相邻气管中气孔的开孔位置互为相反。

7.如权利要求6所述管用进气排气装置，其特征在于：在多层套管结构位于最外层气管上的若干气孔在周向面沿轴向并排布置成1～3排。

8.如权利要求7所述管用进气排气装置，其特征在于：若最外层气管上气孔沿周向并排布置成3排，在左右最外侧两排气孔中，位于左右相邻的两个气孔的中心相交线之间形成夹角ɑ，所述夹角ɑ为50°～100°。