[实用新型]一种用于旋转靶绑定的加热装置有效

专利信息
申请号: 202020277786.2 申请日: 2020-03-09
公开(公告)号: CN211406299U 公开(公告)日: 2020-09-01
发明(设计)人: 陈明恒 申请(专利权)人: 东莞市欧莱溅射靶材有限公司
主分类号: H05B3/02 分类号: H05B3/02;H05B6/02;H05B6/06
代理公司: 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 代理人: 林晓宏
地址: 523000 广东省*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 旋转 绑定 加热 装置
【权利要求书】:

1.一种用于旋转靶绑定的加热装置,其特征在于:加热装置包括设置在旋转靶绑定工装装置(36)旁侧的升降支柱(33)、加热模块(3501)和升降驱动装置,

加热模块(3501),用作对旋转靶进行局部加热,加热模块(3501)滑动安装于升降支柱(33)靠近旋转靶绑定工装装置(36)的一侧,加热模块(3501)位于旋转靶绑定工装装置(36)的上方;

升降驱动装置,用作驱动加热模块(3501)沿旋转靶轴线方向作升降运动,升降驱动装置连接加热模块(3501)。

2.根据权利要求1所述的一种用于旋转靶绑定的加热装置,其特征在于:所述升降支柱(33)设置有升降导轨和升降平台(34),

升降导轨沿垂直方向设置,升降导轨滑动安装有一滑座(3302),所述升降驱动装置连接滑座(3302);

升降平台(34)固接于滑座(3302),升降平台(34)呈水平设置,所述加热模块(3501)固定于升降平台(34)。

3.根据权利要求2所述的一种用于旋转靶绑定的加热装置,其特征在于:所述升降平台(34)上下贯穿设置有用于避让旋转靶的避让口,避让口与所述旋转靶绑定工装装置(36)上下对齐,避让口的直径大于工装定位在转靶绑定工装装置的旋转靶的直径,旋转靶穿设于避让口;

升降平台(34)的台面设置有一加热箱(35),加热箱(35)的顶面和底面分别开设有一箱体通口(3500),两个箱体通口(3500)分别与避让口同心配合,加热箱(35)通过箱体通口(3500)活动套设于旋转靶,所述加热模块(3501)固定于加热箱(35)的内腔。

4.根据权利要求3所述的一种用于旋转靶绑定的加热装置,其特征在于:所述加热模块(3501)设置为红外线辐射加热模块或电磁感应加热模块。

5.根据权利要求4所述的一种用于旋转靶绑定的加热装置,其特征在于:所述加热模块(3501)包括有多个PTC发热元件和一个导热板,

导热板由铝合金材料所制、呈圆筒状设置,导热板固定于所述加热箱(35)的内腔,导热板的直径大于所述箱体通口(3500)的直径,导热板的内侧面涂设有远红外辐射涂料,导热板沿周向等角度设置有多个插槽;

各PTC发热元件分别插设于相应的插槽。

6.根据权利要求5所述的一种用于旋转靶绑定的加热装置,其特征在于:所述加热箱(35)设置为碳纤维材料所制的箱体,加热箱(35)呈方形设置,箱体的外表面设置有警示颜色层,警示颜色层由感温变色材料喷涂形成。

7.根据权利要求2所述的一种用于旋转靶绑定的加热装置,其特征在于:所述升降导轨包括一开设于升降支柱(33)的内部的升降导槽,升降导槽内滑动安装有一升降丝杆副,所述滑座(3302)与升降丝杆副相连接;

升降导槽内安装有一升降驱动丝杆(3301),升降驱动丝杆(3301)与升降丝杆副螺纹连接;

所述升降驱动装置包括一升降驱动电机(37),升降驱动电机(37)固定于升降支柱(33)的底部,升降驱动电机(37)具有一驱动转轴,驱动转轴通过联轴器连接升降驱动丝杆(3301)。

8.根据权利要求1所述的一种用于旋转靶绑定的加热装置,其特征在于:所述加热装置设置有加热控制单元,所述升降支柱(33)的顶部设置有红外温度检测仪,红外温度检测仪与所述加热模块(3501)电分别电连接加热控制单元。

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