[实用新型]一种用于旋转靶绑定的加热装置有效
申请号: | 202020277786.2 | 申请日: | 2020-03-09 |
公开(公告)号: | CN211406299U | 公开(公告)日: | 2020-09-01 |
发明(设计)人: | 陈明恒 | 申请(专利权)人: | 东莞市欧莱溅射靶材有限公司 |
主分类号: | H05B3/02 | 分类号: | H05B3/02;H05B6/02;H05B6/06 |
代理公司: | 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 | 代理人: | 林晓宏 |
地址: | 523000 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 旋转 绑定 加热 装置 | ||
本实用新型公开了一种用于旋转靶绑定的加热装置,加热装置包括设置在旋转靶绑定工装装置旁侧的升降支柱、加热模块和升降驱动装置,加热模块,用作对旋转靶材进行局部加热,加热模块滑动安装于升降支柱靠近旋转靶绑定工装装置的一侧,加热模块位于旋转靶绑定工装装置的上方;升降驱动装置,用作驱动加热模块沿旋转靶轴线方向作升降运动,升降驱动装置连接加热模块。与现有技术相比,该加热装置能够对旋转靶进行分节加热,免除整管加热,降低操作难度,减少能耗折损,提高绑定质量。
技术领域
本实用新型涉及旋转靶绑定技术领域,尤其是涉及一种用于旋转靶绑定的加热装置。
背景技术
旋转靶绑定是指,旋转靶与背管之间的整个环形面的接触焊合。旋转靶与背管之间的接触面为曲面,与平面靶不同,旋转靶的绑定,一般以旋转靶和背管为模具,将绑定材料溶化后进行浇铸。绑定原理与铸造管材类似,管壁越薄,长度越长,浇铸的均匀性越难控制。在现有技术中,已出现分节绑定的工艺方案。分节绑定工艺可根据靶材材质灵活调整,适用于任意长度的旋转靶,具有提高绑定焊合率、焊合质量、减少形变等优点。现有的绑定加热设备只能对整管进行加热,难以满足分节绑定的操作要求,而且热效率低,能耗高,造成资源浪费,甚至容易出现操作不当,使旋转靶材出现加热过度或温度不足的情况,降低绑定焊合率以及焊合质量。
实用新型内容
针对现有技术存在的不足,本实用新型的目的是提供一种用于旋转靶绑定的加热装置,能够对旋转靶进行分节加热,保证旋转靶在工艺要求的温度范围内进行浇筑焊合,热效率高,降低企业能耗成本。
为了实现上述目的,本实用新型所采用的技术方案是:一种用于旋转靶绑定的加热装置,加热装置包括设置在旋转靶绑定工装装置旁侧的升降支柱、加热模块和升降驱动装置,加热模块,用作对旋转靶材进行局部加热,加热模块滑动安装于升降支柱靠近旋转靶绑定工装装置的一侧,加热模块位于旋转靶绑定工装装置的上方;升降驱动装置,用作驱动加热模块沿旋转靶轴线方向作升降运动,升降驱动装置连接加热模块。
在进一步的技术方案中,升降支柱设置有升降导轨和升降平台,升降导轨沿垂直方向设置,升降导轨滑动安装有一滑座,升降驱动装置连接滑座;升降平台固接于滑座,升降平台呈水平设置,加热模块固定于升降平台。
在进一步的技术方案中,升降平台上下贯穿设置有用于避让旋转靶的避让口,避让口与旋转靶绑定工装装置上下对齐,避让口的直径大于工装定位在转靶绑定工装装置的旋转靶的直径,旋转靶穿设于避让口;升降平台的台面设置有一加热箱,加热箱的顶面和底面分别开设有一箱体通口,两个箱体通口分别与避让口同心配合,加热箱通过箱体通口活动套设于旋转靶,加热模块固定于加热箱的内腔。
在进一步的技术方案中,加热模块设置为红外线辐射加热模块或电磁感应加热模块。
在进一步的技术方案中,加热模块包括有多个PTC发热元件和一个导热板,导热板由铝合金材料所制、呈圆筒状设置,导热板固定于加热箱的内腔,导热板的直径大于箱体通口的直径,导热板的内侧面涂设有远红外辐射涂料,导热板沿周向等角度设置有多个插槽;各PTC发热元件分别插设于相应的插槽。
在进一步的技术方案中,加热箱设置为碳纤维材料所制的箱体,加热箱呈方形设置,箱体的外表面设置有警示颜色层,警示颜色层由感温变色材料喷涂形成。
在进一步的技术方案中,升降导轨包括一开设于升降支柱的内部的升降导槽,升降导槽内滑动安装有一升降丝杆副,滑座与升降丝杆副相连接;升降导槽内安装有一升降驱动丝杆,升降驱动丝杆与升降丝杆副螺纹连接;升降驱动装置包括一升降驱动电机,升降驱动电机固定于升降支柱的底部,升降驱动电机具有一驱动转轴,驱动转轴通过联轴器连接升降驱动丝杆。
在进一步的技术方案中,加热装置设置有加热控制单元,升降支柱的顶部设置有红外温度检测仪,红外温度检测仪与加热模块电分别电连接加热控制单元。
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