[实用新型]一种半自动旋转靶氧化皮去除装置有效

专利信息
申请号: 202020277832.9 申请日: 2020-03-09
公开(公告)号: CN211839177U 公开(公告)日: 2020-11-03
发明(设计)人: 陈明恒 申请(专利权)人: 东莞市欧莱溅射靶材有限公司
主分类号: B08B1/02 分类号: B08B1/02;B08B1/00;C23C14/34
代理公司: 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 代理人: 林晓宏
地址: 523000 广东省*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 半自动 旋转 氧化 去除 装置
【权利要求书】:

1.一种半自动旋转靶氧化皮去除装置,其特征在于:包括机架(2)、第一支承辊(26)、第二支承辊(27)、转动驱动装置和转动控制单元(21),

第一支承辊(26)和第二支承辊(27)分别转动安装于机架(2)的顶部,第一支承辊(26)和第二支承辊(27)相平行,第一支承辊(26)和第二支承辊(27)之间间隔形成用作放置旋转靶的支撑部;

转动驱动装置驱动连接第一支承辊(26)或第二支承辊(27),转动控制单元(21)与转动驱动装置电连接。

2.根据权利要求1所述的一种半自动旋转靶氧化皮去除装置,其特征在于:在所述第一支承辊(26)的辊面设置有多个环枕(28),各环枕(28)分别沿第一支承辊(26)的轴向方向间隔设置,并且在第一支承辊(26)上的各环枕(28)的厚度相同,相邻两个环枕(28)的间隔设置为5cm~15cm;

在所述第二支承辊(27)的辊面另外设置有多个环枕(28),这些环枕(28)分别沿第二支承辊(27)的轴向方向间隔设置,并且在第二支承辊(27)上的各环枕(28)的厚度相同,相邻两个环枕(28)的间隔设置为5cm~15cm。

3.根据权利要求2所述的一种半自动旋转靶氧化皮去除装置,其特征在于:各所述环枕(28)分别由外至内顺序设置有表层枕套(2801)、焊接层(2802)和底层枕芯(2803),

表层枕套(2801)由铝合金材料闭合成型设置;

焊接层(2802)用作固接表层枕套(2801)和底层枕芯(2803),焊接层(2802)由耐高温焊料闭合形成,耐高温焊料包括有锡铅焊料或铜锌焊料或银铜锌焊料;

底层枕芯(2803)成型设置于所述第一支承辊(26)以及所述第二支承辊(27)的辊面,底层由铸铁材料设置,底层枕芯(2803)的外表面与表层枕套(2801)的内侧面间隙配合。

4.根据权利要求3所述的一种半自动旋转靶氧化皮去除装置,其特征在于:所述机架(2)沿长度方向的两侧分别对称设置有两个支承辊轴承(25),所述第一支承辊(26)和所述第二支承辊(27)的两端分别连接于相应的支承辊轴承(25);

第一支承辊(26)的一端设置有从动皮带轮(24),从动皮带轮(24)与第一支承辊(26)的同轴配合。

5.根据权利要求4所述的一种半自动旋转靶氧化皮去除装置,其特征在于:所述转动驱动装置包括转动驱动电机(22),转动驱动电机(22)位于所述从动皮带轮(24)的下方,转动驱动电机(22)具有一输出转轴,输出转轴固定有一主动皮带轮(23),主动皮带轮(23)的直径小于从动皮带轮(24)的直径,主动皮带轮(23)与从动皮带轮(24)之间通过皮带传动连接;

转动驱动电机(22)电连接所述转动控制单元(21)。

6.根据权利要求5所述的一种半自动旋转靶氧化皮去除装置,其特征在于:所述机架(2)的底部设置有多个滚轮装置,每个滚轮装置分别设置有滚轮和滚轮锁紧结构,滚轮锁紧结构包括有活动设置的锁紧踏板和锁舌,锁紧踏板连接锁舌,锁舌的底面凸出设置有锁紧咬牙,锁舌的底面活动抵压于滚轮的轮面。

7.根据权利要求6所述的一种半自动旋转靶氧化皮去除装置,其特征在于:所述滚轮的轮面由高分子材料所制,滚轮的轮面的硬度设置为邵氏60~80A。

8.根据权利要求1所述的一种半自动旋转靶氧化皮去除装置,其特征在于:所述机架(2)设置有红外温度监测装置,红外温度监测装置与所述转动控制单元(21)电连接,红外温度监测装置具有用作监测旋转靶温度的红外检测元件,红外检测元件固定于机架(2)的顶部。

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