[实用新型]一种基于机器视觉的晶圆偏转角度检测装置

权利要求书

1.一种基于机器视觉的晶圆偏转角度检测装置，包括底座(1)，其特征在于，所述底座(1)的上表面滑动连接有四个对称设置的用于固定晶圆单片的晶圆卡盘(10)，左右两个所述晶圆卡盘(10)的下端设有用于推动晶圆卡盘(10)移动的转动机构，所述底座(1)的中部固定连接有用于支撑的转轴(2)，所述转轴(2)与四个晶圆卡盘(10)之间设有与转动机构配合的传动机构，所述底座(1)的外侧设有用于检测晶圆偏转角度的检测机构。

2.根据权利要求1所述的一种基于机器视觉的晶圆偏转角度检测装置，其特征在于，所述转动机构包括与左侧晶圆卡盘(10)的底部固定连接的两根螺母条(11)，两根所述螺母条(11)的内部均为中空，右侧所述晶圆卡盘(10)的底部转动连接有两根与螺母条(11)配合的条形螺丝(12)，两根所述条形螺丝(12)的顶端均插入与其对应的螺母条(11)的内部。

3.根据权利要求1所述的一种基于机器视觉的晶圆偏转角度检测装置，其特征在于，所述传动机构包括与转轴(2)的顶部外缘转动连接的轴套(3)，所述轴套(3)的外缘固定连接有四个对称设置的连接块(4)，四个所述连接块(4)的另一端均固定连接有固定板(5)，四个所述固定板(5)的上端均固定连接有第一卡轴(6)，四个所述第一卡轴(6)的外缘均套设有连接杆(7)，四个所述连接杆(7)的另一端均转动连接有与第一卡轴(6)配合的第二卡轴(8)，四个所述第二卡轴(8)的下端均通过固定板(5)与固定块(9)固定连接，四个所述固定块(9)的另一端与晶圆卡盘(10)固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种基于机器视觉的晶圆偏转角度检测装置，其特征在于，所述检测机构包括与底座(1)的上表面外侧固定连接的卡座(13)，所述卡座(13)的顶端设有开槽，所述开槽的两侧内壁间转动连接有两根转杆(14)，两根所述转杆(14)之间固定连接有用于拍摄晶圆图像的相机(15)。

5.根据权利要求2所述的一种基于机器视觉的晶圆偏转角度检测装置，其特征在于，右侧所述晶圆卡盘(10)的底部设有两个用于插入条形螺丝(12)的开孔。

6.根据权利要求4所述的一种基于机器视觉的晶圆偏转角度检测装置，其特征在于，所述相机(15)为工业相机。