[实用新型]一种基于机器视觉的晶圆偏转角度检测装置

说明书

本实用新型公开了一种基于机器视觉的晶圆偏转角度检测装置，包括底座，所述底座的上表面滑动连接有四个对称设置的用于固定晶圆单片的晶圆卡盘，左右两个所述晶圆卡盘的下端设有用于推动晶圆卡盘移动的转动机构，所述底座的中部固定连接有用于支撑的转轴，所述转轴与四个晶圆卡盘之间设有与转动机构配合的传动机构，所述底座的外侧设有用于检测晶圆偏转角度的检测机构。本实用新型结构合理，可以将晶圆牢固地固定于卡盘的上方，避免对后续晶圆偏转角度的测量产生影响。

技术领域

本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种基于机器视觉的晶圆偏转角度检测装置。

背景技术

在集成电路的划片加工中，需要先把晶圆单片固定在加工台上，然后按照设定的路径进行加工，一般情况下，晶圆单片与默认加工路径之间通常会存在偏差，需要手动或自动对晶圆单片进行角度的预对准，而现有的晶圆偏转角度检测装置也存在着一些问题，如；

1、现有的晶圆偏转角度检测装置在对晶圆单片进行固定的时候常会出现固定不牢的情况，进而影响后续对晶圆偏转角度的测量；

2、现有的晶圆偏转角度检测装置在预对准时晶圆单片的加工精度常会受到人工的影响，预对准时间的长短直接影响加工的效率。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种基于机器视觉的晶圆偏转角度检测装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种基于机器视觉的晶圆偏转角度检测装置，包括底座，所述底座的上表面滑动连接有四个对称设置的用于固定晶圆单片的晶圆卡盘，左右两个所述晶圆卡盘的下端设有用于推动晶圆卡盘移动的转动机构，所述底座的中部固定连接有用于支撑的转轴，所述转轴与四个晶圆卡盘之间设有与转动机构配合的传动机构，所述底座的外侧设有用于检测晶圆偏转角度的检测机构。

优选地，所述转动机构包括与左侧晶圆卡盘的底部固定连接的两根螺母条，两根所述螺母条的内部均为中空，右侧所述晶圆卡盘的底部转动连接有两根与螺母条配合的条形螺丝，两根所述条形螺丝的顶端均插入与其对应的螺母条的内部。

优选地，所述传动机构包括与转轴的顶部外缘转动连接的轴套，所述轴套的外缘固定连接有四个对称设置的连接块，四个所述连接块的另一端均固定连接有固定板，四个所述固定板的上端均固定连接有第一卡轴，四个所述第一卡轴的外缘均套设有连接杆，四个所述连接杆的另一端均转动连接有与第一卡轴配合的第二卡轴，四个所述第二卡轴的下端均通过固定板与固定块固定连接，四个所述固定块的另一端与晶圆卡盘固定连接。

优选地，所述检测机构包括与底座的上表面外侧固定连接的卡座，所述卡座的顶端设有开槽，所述开槽的两侧内壁间转动连接有两根转杆，两根所述转杆之间固定连接有用于拍摄晶圆图像的相机。

优选地，右侧所述晶圆卡盘的底部设有两个用于插入条形螺丝的开孔。

优选地，所述相机为工业相机。

本实用新型的有益效果：

1、通过设置多个晶圆卡盘，可以将晶圆牢固地固定于卡盘的上方，避免对后续晶圆偏转角度的测量产生影响；

2、通过设置卡座与相机，可以减少预对准时受到的人工的影响，同时也减少预对准的时间，提高加工的效率。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种基于机器视觉的晶圆偏转角度检测装置的结构示意图；

图2为本实用新型提出的一种基于机器视觉的晶圆偏转角度检测装置的传动机构结构图；

图3为本实用新型提出的一种基于机器视觉的晶圆偏转角度检测装置的转动机构结构图。