[实用新型]一种铬金属复合靶材有效
| 申请号： | 202020282626.7 | 申请日： | 2020-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN213172543U | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | 单丹丹;张法亮;张法治 | 申请（专利权）人： | 深圳市千禾盛科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市坪山区坪山街道和平社*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 金属 复合 | ||
【权利要求书】：
1.一种铬金属复合靶材，其特征在于所述靶材由圆柱状铬靶材基体与铝材质的螺纹底座连接组合而成，其中靶材基体与铝材质螺纹底座为面面接触，靶材基体连接面为凸形结构，铝材质螺纹底座连接面为凹形结构，凸形结构和凹形结构相互嵌套连接。
2.如权利要求1所述的一种铬金属复合靶材，其特征在于靶材基体与铝材质的螺纹底座采用销钉嵌入连接结构。
3.如权利要求1所述的一种铬金属复合靶材，其特征在于靶材基体与铝材质的螺纹底座填充有导热硅胶材料。
4.如权利要求1所述的一种铬金属复合靶材，其特征在于靶材基体与铝材质的螺纹底座填充有导热石墨材料。
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