[实用新型]一种铬金属复合靶材

说明书

本发明公开了一种铬金属复合靶材，其特征在于所述靶材由圆柱状铬靶材基体与铝材质的螺纹底座连接组合而成，其中靶材基体与铝材质螺纹底座为面面接触，靶材基体连接面为凸形结构，铝材质螺纹底座连接面为凹形结构，凸形结构和凹形结构相互嵌套连接。该靶材产品，在镀膜工作中，工作更加稳定，不易出现金属液滴飞溅污染膜层的质量问题，具有良好的商业应用前景。

技术领域

本发明属于材料技术领域，更具体地，涉及铬金属靶材产品。

背景技术

真空镀膜即物理气相沉积技术，具有膜/基结合力好、薄膜均匀致密、薄膜厚度可控性好、应用的靶材广泛、溅射范围宽、可沉积厚膜、可制取成分稳定的合金膜和重复性好等优点，近些年来得到快速的发展和工业化应用，

有效的膜层不仅可以提高材料抵御环境的能力，还可以赋予材料表面新的机械性能、装饰功能甚至特殊功能，而膜层的质量不仅取决于镀膜工艺，更取决于膜层材料。

金属铬具有优异的耐腐蚀性能，作为靶材用于真空镀膜所形成的膜层不仅具有优异的耐腐蚀性能，还可以形成氮化铬、碳化铬等陶瓷涂层而具有耐划伤的表面及陶瓷质感的外观。由于金属铬的膜层具有多种优异的性能，近些年作为靶材已广泛应用在各种金属制品、陶瓷制品及塑料制品表面镀膜上。

现有的铬靶材多以圆柱靶、板靶、管靶形式使用，其中圆柱靶也称为弧靶，由于镀膜效率较高，使用较多。作为圆柱靶材产品的加工和使用，一方面铬金属硬度大难于加工，一方面导热系数较低（94w/m.k），散热差，容易在溅射面表面形成较深的熔池，产生金属液滴的飞溅等问题，因此铬金属靶材存在加工困难和散热差的问题，如何提高铬靶材的散热效率和加工成品率是目前行业中面临的一个技术问题。

发明内容

本发明旨在至少在一定程度上解决上述技术问题之一或至少提供一种有用的商业选择。

为此，本发明的一个目的在于提出一种铬金属复合靶材，其特征在于所述靶材由圆柱状铬靶材基体与铝材质的螺纹底座连接组合而成，其中靶材基体与铝材质螺纹底座为面面接触，靶材基体连接面为凸形结构，铝材质螺纹底座连接面为凹形结构，凸形结构和凹形结构相互嵌套连接。

本发明的复合靶材，将传统的铬金属靶材分割为靶材基体和螺纹底座两部分，靶材基体作为功能体发挥靶材溅射源的作用，而螺纹底座部分仍然起连接作用，采用导热系数较高的铝材质制备而成，并且将靶材基体连接面处设计成凸形结构，而螺纹底座连接面设计为凹形结构，进行嵌套连接，优选进行过盈配合连接，以便于连接的稳固性，由于在靶材溅射使用过程中靶材基体受热膨胀，而螺纹底座采用水冷却膨胀小，因此此种设计更有利于连接的稳固性，有效防止了靶材使用过程中的脱落。

本发明铬金属复合靶材，采用的铝合金材质具有导热系数大，更易于靶材基体的传热和散热，选择7系航空铝材兼具高强度高散热，使用效果更佳。采用凸凹面形式的面面连接的接触方式，更有利于靶材基体的散热，在连接面优选增加导热硅胶、导热石墨等软体材料，消除接触热阻，更加有利于靶材基体的散热。

而且铝合金材质膨胀系数大，更利于过盈配合的方案实施，保证了连接的稳固性。本发明的靶材设计，充分发挥了两种材料的特殊属性，利于靶材基体在溅射过程中弧源的稳定，不易于形成过深的熔池，产生熔体的飞溅而污染薄膜表面。

同时，铝材易于加工，降低了加工成本，提高了产品的竞争力。

靶材基体与铝材质的螺纹底座优选采用销钉嵌入连接结构，使得靶材产品更加稳固，以防脱落。

本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

附图说明

图1 为一种铬金属复合靶材示意图

具体实施方式