[实用新型]一种晶圆保持环的切断装置

权利要求书

1.一种晶圆保持环的切断装置，其特征在于，所述的切断装置包括原料固定模组和锯片铣刀模组；

所述的原料固定模组包括固定套筒以及用于驱动固定套筒自转的动力装置，晶圆保持环原料坯套设固定在固定套筒上，随着固定套筒自转带动晶圆保持环原料坯旋转；

所述的锯片铣刀模组包括锯片铣刀以及用于驱动锯片铣刀旋转的电机，锯片铣刀和晶圆保持环原料坯同时旋转完成切断。

2.根据权利要求1所述的切断装置，其特征在于，所述的切断装置还包括底座，所述的原料固定模组和锯片铣刀模组固定于底座上。

3.根据权利要求2所述的切断装置，其特征在于，所述的动力装置包括驱动电机和皮带轮，所述的皮带轮分别套设在驱动电机的输出轴和固定套筒的中心轴上，驱动电机借由皮带轮带动固定套筒自转。

4.根据权利要求3所述的切断装置，其特征在于，所述的底座上设置有用于支撑固定套筒的支座组；

所述的支座组包括分别设置于固定套筒两端的固定支座和移动支座。

5.根据权利要求4所述的切断装置，其特征在于，所述的支座上设置有传送装置，所述的传送装置用于带动移动支座平移，通过平移移动支座装卸固定套筒。

6.根据权利要求5所述的切断装置，其特征在于，所述的传送装置包括沿固定套筒轴向平行铺设的两条导轨，所述的导轨上设置有传送基座，所述的移动支座固定于传送基座上。

7.根据权利要求6所述的切断装置，其特征在于，所述的传送装置还包括位于两条导轨中间并与导轨平行设置的传送丝杆，所述的传送丝杆贯穿传送基座，所述的传送丝杆用于驱动传送基座，传送基座在传送丝杆的驱动下沿导轨平移。

8.根据权利要求7所述的切断装置，其特征在于，所述的原料固定模组还包括设置于底座上的支撑滚轮；

所述的支撑滚轮位于固定套筒下方，所述的支撑滚轮用于辅助晶圆保持环原料坯旋转。

9.根据权利要求8所述的切断装置，其特征在于，所述的锯片铣刀模组还包括机台，所述的电机固定于机台上，所述的电机输出轴连接锯片铣刀；

所述机台上设置有冷却液喷淋管，所述的冷却液喷淋管的出口正对锯片铣刀。

10.根据权利要求9所述的切断装置，其特征在于，所述的底座上设置有用于带动机台平移的驱动装置。

11.根据权利要求10所述的切断装置，其特征在于，所述的驱动装置包括与导轨平行铺设的驱动链条。

12.根据权利要求11所述的切断装置，其特征在于，所述的切断装置还包括设置于底座一侧的控制仪表模组；

所述的控制仪表模组包括中控电路板、控制开关和显示屏，所述的中控电路板分别独立地电性连接所述的动力装置、电机、传送装置和驱动装置，操作人员通过操作控制开关借由中控电路板对所述的动力装置、电机、传送装置和驱动装置进行反馈控制。

13.根据权利要求12所述的切断装置，其特征在于，所述的底座上还设置有与底座对接匹配的外壳，所述外壳用于罩住所述的原料固定模组和锯片铣刀模组。